เคสและโซลูชั่นเซมิคอนดักเตอร์และชิป

/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/

ระบบทำความเย็นไนโตรเจนเหลวใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป รวมถึงกระบวนการของ

  • เทคโนโลยีของ Molecular Beam Epitaxy (MBE)
  • การทดสอบชิปหลังแพ็คเกจ COB

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

โมเลกุลลำแสง EPITAXY

เทคโนโลยีของ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ได้รับการพัฒนาในปี 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางของเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เทคโนโลยีการระเหยแบบสุญญากาศด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสูญญากาศสูงพิเศษ การประยุกต์ใช้เทคโนโลยีได้ขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์

HL สังเกตเห็นความต้องการของระบบระบายความร้อนด้วยไนโตรเจนเหลว MBE ซึ่งจัดระเบียบแกนหลักทางเทคนิคเพื่อพัฒนาระบบระบายความร้อนด้วยไนโตรเจนเหลวแบบพิเศษของ MBE สำหรับเทคโนโลยี MBE และระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศแบบครบชุดซึ่งมีการใช้งานในองค์กร มหาวิทยาลัย และสถาบันวิจัยหลายแห่ง .

ปัญหาทั่วไปของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป ได้แก่

  • ความดันของไนโตรเจนเหลวในอุปกรณ์ปลายทาง (MBE)ป้องกันแรงดันเกินจากอุปกรณ์เทอร์มินัลที่สร้างความเสียหาย (MBE)
  • การควบคุมทางเข้าและทางออกของของเหลวแช่แข็งหลายตัว
  • อุณหภูมิของไนโตรเจนเหลวในอุปกรณ์ปลายทาง
  • ปริมาณการปล่อยก๊าซไครโอเจนิคส์ในปริมาณที่เหมาะสม
  • (อัตโนมัติ) การสลับสายหลักและสายสาขา
  • การปรับแรงดัน (ลด) และความเสถียรของ VIP
  • ทำความสะอาดสิ่งเจือปนที่เป็นไปได้และน้ำแข็งที่ตกค้างจากถัง
  • เวลาบรรจุของอุปกรณ์ของเหลวปลายทาง
  • ท่อพรีคูลลิ่ง
  • การต้านทานของเหลวในระบบวีไอพี
  • ควบคุมการสูญเสียไนโตรเจนเหลวระหว่างการให้บริการระบบอย่างต่อเนื่อง

ท่อฉนวนสุญญากาศ (VIP) ของ HL สร้างขึ้นตามรหัสท่อแรงดัน ASME B31.3 เป็นมาตรฐานประสบการณ์ด้านวิศวกรรมและความสามารถในการควบคุมคุณภาพเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพและความคุ้มค่าของโรงงานของลูกค้า

โซลูชั่น

HL Cryogenic Equipment นำเสนอระบบท่อฉนวนสุญญากาศแก่ลูกค้าเพื่อตอบสนองความต้องการและเงื่อนไขของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป:

1. ระบบการจัดการคุณภาพ: ASME B31.3 รหัสท่อแรงดัน

2.A ตัวแยกเฟสพิเศษที่มีทางเข้าและทางออกของของเหลวแช่แข็งหลายตัวพร้อมฟังก์ชั่นควบคุมอัตโนมัติตรงตามความต้องการของการปล่อยก๊าซ ไนโตรเจนเหลวที่นำกลับมาใช้ใหม่ และอุณหภูมิของไนโตรเจนเหลว

3. การออกแบบไอเสียที่เพียงพอและทันเวลาช่วยให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์ปลายทางจะทำงานภายในค่าความดันที่ออกแบบไว้เสมอ

4. อุปสรรคแก๊สและของเหลววางอยู่ในท่อ VI แนวตั้งที่ส่วนท้ายของท่อ VIGas-liquid Barrier ใช้หลักการผนึกแก๊สเพื่อป้องกันความร้อนจากปลายท่อ VI เข้าสู่ VI Piping และลดการสูญเสียไนโตรเจนเหลวได้อย่างมีประสิทธิภาพระหว่างการให้บริการระบบที่ไม่ต่อเนื่องและไม่ต่อเนื่อง

5.VI Piping ควบคุมโดย Vacuum Insulated Valve (VIV) Series: รวมถึงวาล์วปิดระบบสุญญากาศ (นิวเมติก) วาล์วตรวจสอบฉนวนสุญญากาศ วาล์วควบคุมฉนวนสุญญากาศ ฯลฯ ประเภทต่างๆ ของ VIV สามารถรวมกันเป็นโมดูลเพื่อควบคุม VIP ได้ ที่จำเป็น.VIV ถูกรวมเข้ากับการผลิตสำเร็จรูปแบบวีไอพีในผู้ผลิต โดยไม่ต้องมีฉนวนในสถานที่ทำงานสามารถเปลี่ยนชุดซีลของ VIV ได้อย่างง่ายดาย(HL ยอมรับแบรนด์วาล์วแช่แข็งที่กำหนดโดยลูกค้า แล้วจึงผลิตวาล์วฉนวนสุญญากาศโดย HL วาล์วบางยี่ห้อและรุ่นอาจไม่สามารถทำเป็นวาล์วฉนวนสุญญากาศได้)

6. ความสะอาด หากมีข้อกำหนดเพิ่มเติมสำหรับความสะอาดของพื้นผิวยางในขอแนะนำให้ลูกค้าเลือกท่อสแตนเลส BA หรือ EP เป็นท่อภายในแบบ VIP เพื่อลดการรั่วไหลของเหล็กกล้าไร้สนิมต่อไป

7.Vacuum Insulated Filter: ขจัดสิ่งสกปรกและน้ำแข็งที่ตกค้างออกจากถัง

8.หลังจากปิดหรือบำรุงรักษาเป็นเวลาสองสามวันหรือนานกว่านั้น จำเป็นต้องทำให้เย็นก่อนท่อ VI และอุปกรณ์ปลายทางก่อนที่จะป้อนของเหลวแช่แข็ง เพื่อหลีกเลี่ยงตะกรันน้ำแข็งหลังจากของเหลวแช่แข็งเข้าสู่ท่อ VI และอุปกรณ์ปลายทางโดยตรงฟังก์ชั่นพรีคูลลิ่งควรพิจารณาในการออกแบบให้การป้องกันที่ดีกว่าสำหรับอุปกรณ์ปลายทางและอุปกรณ์สนับสนุนท่อ VI เช่นวาล์ว

9. เหมาะสำหรับระบบท่อฉนวนสุญญากาศแบบไดนามิกและแบบสถิต (ยืดหยุ่น)

10.ระบบท่อฉนวนสุญญากาศ (แบบยืดหยุ่น) ไดนามิก: ประกอบด้วยท่ออ่อน VI และ/หรือ ท่อ VI, ท่อจัมเปอร์, ระบบวาล์วฉนวนสุญญากาศ, ตัวแยกเฟส และระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก (รวมถึงปั๊มสุญญากาศ, โซลินอยด์วาล์ว และเกจสุญญากาศ เป็นต้น ).ความยาวของท่ออ่อนแบบยืดหยุ่น VI เดี่ยวสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของผู้ใช้

11.ประเภทการเชื่อมต่อต่างๆ: สามารถเลือกประเภทการเชื่อมต่อแบบดาบปลายปืนสูญญากาศ (VBC) และการเชื่อมแบบเชื่อมได้ชนิด VBC ไม่ต้องการการรักษาฉนวนในสถานที่