เคสและโซลูชันเซมิคอนดักเตอร์และชิป

/เซมิคอนดักเตอร์และชิปเคสโซลูชั่น/
/เซมิคอนดักเตอร์และชิปเคสโซลูชั่น/
/เซมิคอนดักเตอร์และชิปเคสโซลูชั่น/
/เซมิคอนดักเตอร์และชิปเคสโซลูชั่น/

ระบบทำความเย็นไนโตรเจนเหลวถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป รวมถึงกระบวนการของ

  • เทคโนโลยี Molecular Beam Epitaxy (MBE)
  • การทดสอบชิปหลังแพ็คเกจ COB

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

โมเลกุลบีม EPITAXY

เทคโนโลยีของ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ได้รับการพัฒนาในปี 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางของเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เทคโนโลยีการระเหยแบบสุญญากาศด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสุญญากาศสูงพิเศษ การประยุกต์ใช้เทคโนโลยีได้ขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์

HL สังเกตเห็นความต้องการระบบทำความเย็นไนโตรเจนเหลว MBE ซึ่งเป็นแกนหลักทางเทคนิคเพื่อพัฒนาระบบระบายความร้อนไนโตรเจนเหลว MBE แบบพิเศษสำหรับเทคโนโลยี MBE และระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศครบชุด ซึ่งใช้ในองค์กร มหาวิทยาลัย และสถาบันวิจัยหลายแห่ง .

ปัญหาทั่วไปของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป ได้แก่

  • ความดันของไนโตรเจนเหลวเข้าสู่อุปกรณ์ Terminal (MBE)ป้องกันแรงดันเกินจากอุปกรณ์ Terminal (MBE) ที่สร้างความเสียหาย
  • การควบคุมทางเข้าและทางออกของของเหลวไครโอเจนิกหลายรายการ
  • อุณหภูมิของไนโตรเจนเหลวเข้าสู่อุปกรณ์ปลายทาง
  • การปล่อยก๊าซไครโอเจนิกในปริมาณที่เหมาะสม
  • (อัตโนมัติ) การสลับสายหลักและสาขา
  • การปรับแรงกด (ลด) และความเสถียรของ VIP
  • การทำความสะอาดสิ่งเจือปนและน้ำแข็งตกค้างที่เป็นไปได้ออกจากถัง
  • เวลาบรรจุของอุปกรณ์ของเหลวเทอร์มินัล
  • ท่อพรีคูลลิ่ง
  • ความต้านทานต่อของเหลวในระบบวีไอพี
  • ควบคุมการสูญเสียไนโตรเจนเหลวในระหว่างการให้บริการระบบไม่ต่อเนื่อง

ท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศ (VIP) ของ HL สร้างขึ้นตามรหัสท่อแรงดัน ASME B31.3 เป็นมาตรฐานประสบการณ์ด้านวิศวกรรมและความสามารถในการควบคุมคุณภาพเพื่อให้มั่นใจในประสิทธิภาพและความคุ้มค่าของโรงงานของลูกค้า

โซลูชั่น

HL Cryogenic Equipment นำเสนอระบบท่อฉนวนสุญญากาศแก่ลูกค้า เพื่อตอบสนองความต้องการและเงื่อนไขของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป:

1. ระบบการจัดการคุณภาพ: รหัสท่อแรงดัน ASME B31.3

2.เครื่องแยกเฟสพิเศษที่มีทางเข้าและทางออกของเหลวไครโอเจนิกหลายช่องพร้อมฟังก์ชันควบคุมอัตโนมัติตรงตามความต้องการด้านการปล่อยก๊าซ ไนโตรเจนเหลวรีไซเคิล และอุณหภูมิของไนโตรเจนเหลว

3. การออกแบบไอเสียที่เพียงพอและทันเวลาทำให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์ปลายทางจะทำงานภายในค่าความดันที่ออกแบบไว้เสมอ

4. Barrier ก๊าซและของเหลวถูกวางไว้ในท่อ VI แนวตั้งที่ส่วนท้ายของท่อ VIแผงกั้นก๊าซ-ของเหลวใช้หลักการซีลแก๊สเพื่อปิดกั้นความร้อนจากปลายท่อ VI เข้าสู่ท่อ VI และลดการสูญเสียไนโตรเจนเหลวอย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างการบริการที่ไม่ต่อเนื่องและไม่ต่อเนื่องของระบบ

5.VI ท่อควบคุมโดยชุดวาล์วฉนวนสุญญากาศ (VIV): รวมถึงวาล์วปิดฉนวนสุญญากาศ (นิวเมติก) เช็ควาล์วฉนวนสุญญากาศ วาล์วควบคุมฉนวนสุญญากาศ ฯลฯ VIV ประเภทต่างๆ สามารถรวมกันแบบโมดูลาร์เพื่อควบคุม VIP ได้ ที่จำเป็น.VIV ถูกรวมเข้ากับการผลิตสำเร็จรูปแบบ VIP ในผู้ผลิต โดยไม่มีฉนวนหุ้ม ณ สถานที่ทำงานสามารถเปลี่ยนชุดซีลของ VIV ได้อย่างง่ายดาย(HL ยอมรับแบรนด์วาล์วไครโอเจนิกที่ลูกค้ากำหนด แล้วจึงผลิตวาล์วฉนวนสุญญากาศโดย HL วาล์วบางยี่ห้อและบางรุ่นอาจไม่สามารถทำเป็นวาล์วฉนวนสุญญากาศได้)

6.ความสะอาด หากมีข้อกำหนดเพิ่มเติมสำหรับความสะอาดพื้นผิวท่อด้านในขอแนะนำให้ลูกค้าเลือกท่อสแตนเลส BA หรือ EP เป็นท่อด้านใน VIP เพื่อลดการรั่วไหลของสแตนเลสเพิ่มเติม

7.ตัวกรองฉนวนสุญญากาศ: ทำความสะอาดสิ่งสกปรกและเศษน้ำแข็งที่เป็นไปได้ออกจากถัง

8.หลังจากปิดเครื่องหรือบำรุงรักษาเป็นเวลาหลายวันหรือนานกว่านั้น จำเป็นอย่างยิ่งที่จะต้องทำให้ท่อ VI และอุปกรณ์ปลายทางเย็นลงก่อนที่จะป้อนของเหลวแช่แข็ง เพื่อหลีกเลี่ยงตะกรันน้ำแข็งหลังจากของเหลวแช่แข็งเข้าสู่ท่อ VI และอุปกรณ์ปลายทางโดยตรงการออกแบบควรคำนึงถึงฟังก์ชันการทำความเย็นล่วงหน้าให้การปกป้องที่ดีขึ้นสำหรับอุปกรณ์ปลายทางและอุปกรณ์สนับสนุนท่อ VI เช่น วาล์ว

9. เหมาะสำหรับระบบท่อฉนวนสุญญากาศแบบไดนามิกและแบบคงที่ (ยืดหยุ่น)

10.ระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศแบบไดนามิก (ยืดหยุ่น): ประกอบด้วยท่ออ่อน VI และ/หรือท่อ VI, ท่อจัมเปอร์, ระบบวาล์วหุ้มฉนวนสุญญากาศ, ตัวแยกเฟส และระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก (รวมถึงปั๊มสุญญากาศ, โซลินอยด์วาล์ว และเกจสุญญากาศ ฯลฯ ).ความยาวของท่ออ่อนแบบยืดหยุ่น VI เส้นเดียวสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของผู้ใช้

11. ประเภทการเชื่อมต่อต่างๆ: สามารถเลือกประเภทการเชื่อมต่อแบบดาบปลายปืนสุญญากาศ (VBC) และการเชื่อมต่อแบบเชื่อมได้ประเภท VBC ไม่จำเป็นต้องหุ้มฉนวนที่ไซต์งาน