ระบบหล่อเย็นด้วยไนโตรเจนเหลวใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป รวมถึงกระบวนการ
- เทคโนโลยี Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- การทดสอบชิปหลังจากบรรจุ COB
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
ลำแสงโมเลกุล EPITAXY
เทคโนโลยีของ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ได้รับการพัฒนาในปี 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางของเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เทคโนโลยีการระเหยด้วยสุญญากาศด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสุญญากาศสูงพิเศษ การประยุกต์ใช้เทคโนโลยีได้ขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์
HL สังเกตเห็นความต้องการของระบบหล่อเย็นไนโตรเจนเหลว MBE ซึ่งจัดระบบแกนหลักทางเทคนิคเพื่อพัฒนาระบบหล่อเย็นไนโตรเจนเหลว MBE แบบพิเศษสำหรับเทคโนโลยี MBE และระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศชุดสมบูรณ์ ซึ่งใช้ในองค์กร มหาวิทยาลัย และสถาบันวิจัยหลายแห่ง .
ปัญหาทั่วไปของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป ได้แก่
- ความดันของไนโตรเจนเหลวเข้าสู่อุปกรณ์เทอร์มินัล (MBE)ป้องกันแรงดันเกินจากอุปกรณ์สร้างความเสียหาย (MBE)
- การควบคุมทางเข้าและทางออกของของเหลว Cryogenic หลายรายการ
- อุณหภูมิของไนโตรเจนเหลวเข้าสู่อุปกรณ์ปลายทาง
- การปล่อยก๊าซไครโอเจนิกในปริมาณที่เหมาะสม
- (อัตโนมัติ) การสลับสายหลักและสายย่อย
- การปรับแรงดัน (ลด) และความเสถียรของ VIP
- ขจัดสิ่งเจือปนที่อาจเกิดขึ้นและเศษน้ำแข็งออกจากถัง
- เวลาเติมของอุปกรณ์ปลายทางของเหลว
- ท่อระบายความร้อนล่วงหน้า
- ต้านทานของเหลวในระบบวีไอพี
- ควบคุมการสูญเสียไนโตรเจนเหลวระหว่างการให้บริการระบบไม่ต่อเนื่อง
ท่อฉนวนสุญญากาศ (VIP) ของ HL สร้างขึ้นตามรหัสท่อความดัน ASME B31.3 เป็นมาตรฐานประสบการณ์ด้านวิศวกรรมและความสามารถในการควบคุมคุณภาพเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพและความคุ้มค่าของโรงงานของลูกค้า
โซลูชั่น
HL Cryogenic Equipment ให้บริการลูกค้าด้วยระบบท่อฉนวนสูญญากาศเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดและเงื่อนไขของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป:
1. ระบบการจัดการคุณภาพ: ASME B31.3 รหัสท่อแรงดัน
2.เครื่องแยกเฟสพิเศษที่มีทางเข้าและออกของของเหลวไครโอเจนิกหลายตัวพร้อมฟังก์ชันควบคุมอัตโนมัติเป็นไปตามข้อกำหนดของการปล่อยก๊าซ ไนโตรเจนเหลวรีไซเคิล และอุณหภูมิของไนโตรเจนเหลว
3. การออกแบบไอเสียที่เพียงพอและทันเวลาทำให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์ปลายทางจะทำงานภายในค่าความดันที่ออกแบบไว้เสมอ
4. Barrier ก๊าซและของเหลวถูกวางไว้ในท่อ VI แนวตั้งที่ส่วนท้ายของท่อ VIGas-liquid Barrier ใช้หลักการซีลแก๊สเพื่อป้องกันความร้อนจากปลายท่อ VI ไปยังท่อ VI และลดการสูญเสียไนโตรเจนเหลวอย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างการให้บริการที่ไม่ต่อเนื่องและไม่ต่อเนื่องของระบบ
5.VI ท่อควบคุมโดยวาล์วฉนวนสุญญากาศ (VIV) ซีรีส์: รวมถึงวาล์วปิดฉนวนสุญญากาศ (นิวเมติก) เช็ควาล์วฉนวนสุญญากาศ วาล์วควบคุมสุญญากาศฉนวน ฯลฯ VIV ประเภทต่างๆ สามารถรวมกันแบบแยกส่วนเพื่อควบคุม VIP เป็น ที่จำเป็น.VIV ผสานรวมกับการผลิตสำเร็จรูประดับวีไอพีในผู้ผลิต โดยไม่มีการรักษาฉนวนในสถานที่หน่วยซีลของวีไอวีสามารถถอดเปลี่ยนได้ง่าย(HL ยอมรับแบรนด์วาล์วไครโอเจนิกที่กำหนดโดยลูกค้า จากนั้นจึงผลิตวาล์วฉนวนสุญญากาศโดย HL วาล์วบางยี่ห้อและบางรุ่นอาจไม่สามารถทำเป็นวาล์วฉนวนสุญญากาศได้)
6.ความสะอาด หากมีข้อกำหนดเพิ่มเติมสำหรับความสะอาดพื้นผิวท่อด้านในขอแนะนำให้ลูกค้าเลือกท่อสแตนเลส BA หรือ EP เป็นท่อด้านใน VIP เพื่อลดการรั่วไหลของสแตนเลสเพิ่มเติม
7.Vacuum Insulated Filter: ทำความสะอาดสิ่งเจือปนและน้ำแข็งที่ตกค้างออกจากถัง
8.หลังจากปิดเครื่องหรือบำรุงรักษาเป็นเวลา 2-3 วันหรือนานกว่านั้น จำเป็นอย่างยิ่งที่จะต้องทำให้ท่อ VI และอุปกรณ์ปลายทางเย็นลงก่อนที่จะป้อนของเหลวสำหรับการแช่แข็ง เพื่อหลีกเลี่ยงตะกรันน้ำแข็งหลังจากที่ของเหลวแช่แข็งเข้าสู่ท่อ VI และอุปกรณ์ปลายทางโดยตรงควรคำนึงถึงฟังก์ชันการระบายความร้อนล่วงหน้าในการออกแบบให้การปกป้องที่ดีขึ้นสำหรับอุปกรณ์ปลายทางและอุปกรณ์สนับสนุนท่อ VI เช่น วาล์ว
9. เหมาะสำหรับระบบท่อฉนวนสูญญากาศแบบไดนามิกและแบบคงที่ (ยืดหยุ่น)
10.ระบบท่อฉนวนสุญญากาศไดนามิก (ยืดหยุ่น) ประกอบด้วยท่ออ่อน VI และ/หรือท่อ VI ท่อจัมเปอร์ ระบบวาล์วฉนวนสุญญากาศ ตัวแยกเฟส และระบบปั๊มสุญญากาศไดนามิก (รวมถึงปั๊มสุญญากาศ โซลินอยด์วาล์ว และเกจสุญญากาศ เป็นต้น ).ความยาวของท่ออ่อน VI เส้นเดียวสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของผู้ใช้
11.ประเภทการเชื่อมต่อต่างๆ: สามารถเลือกประเภทการเชื่อมต่อแบบดาบปลายปืนสุญญากาศ (VBC) และการเชื่อมต่อแบบเชื่อมได้ประเภท VBC ไม่จำเป็นต้องมีการหุ้มฉนวนในสถานที่