บทสรุปของ Molecular Beam Epitaxy (MBE)
เทคโนโลยีของ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ได้รับการพัฒนาในปี 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางของเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เทคโนโลยีการระเหยด้วยสุญญากาศด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสุญญากาศสูงพิเศษ การประยุกต์ใช้เทคโนโลยีได้ขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์
แรงจูงใจของการวิจัยวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คือความต้องการอุปกรณ์ใหม่ ซึ่งอาจปรับปรุงประสิทธิภาพของระบบในทางกลับกัน เทคโนโลยีวัสดุใหม่อาจผลิตอุปกรณ์ใหม่และเทคโนโลยีใหม่Molecular beam epitaxy (MBE) เป็นเทคโนโลยีสูญญากาศสูงสำหรับการเจริญเติบโตของชั้น epitaxial (โดยปกติจะเป็นเซมิคอนดักเตอร์)มันใช้ลำแสงความร้อนของอะตอมหรือโมเลกุลที่มากระทบกับสารตั้งต้นที่เป็นผลึกเดี่ยวลักษณะสุญญากาศสูงพิเศษของกระบวนการช่วยให้เกิดการหลอมโลหะในแหล่งกำเนิดและการขยายตัวของวัสดุฉนวนบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ที่ปลูกใหม่ ส่งผลให้อินเทอร์เฟซปราศจากมลภาวะ
เทคโนโลยีเอ็มบีอี
epitaxy ของลำแสงโมเลกุลถูกดำเนินการในสุญญากาศสูงหรือสุญญากาศสูงพิเศษ (1 x 10-8ป่า) สิ่งแวดล้อม.สิ่งสำคัญที่สุดของ epitaxy ของลำแสงโมเลกุลคืออัตราการสะสมที่ต่ำ ซึ่งโดยปกติจะทำให้ฟิล์มเติบโต epitaxial ในอัตราน้อยกว่า 3,000 นาโนเมตรต่อชั่วโมงอัตราการสะสมตัวที่ต่ำเช่นนี้ต้องใช้สุญญากาศสูงเพียงพอเพื่อให้ได้ความสะอาดในระดับเดียวกับวิธีการสะสมอื่นๆ
เพื่อให้เป็นไปตามสุญญากาศสูงพิเศษที่อธิบายไว้ข้างต้น อุปกรณ์ MBE (เซลล์ Knudsen) มีชั้นระบายความร้อน และสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงพิเศษของห้องการเจริญเติบโตจะต้องได้รับการบำรุงรักษาโดยใช้ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลวไนโตรเจนเหลวทำให้อุณหภูมิภายในอุปกรณ์เย็นลงถึง 77 เคลวิน (−196 °C)สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิต่ำสามารถลดปริมาณสิ่งเจือปนในสุญญากาศได้มากขึ้น และให้สภาวะที่ดีขึ้นสำหรับการสะสมตัวของฟิล์มบางดังนั้น จึงจำเป็นต้องมีระบบหมุนเวียนการหล่อเย็นไนโตรเจนเหลวโดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ MBE เพื่อจัดหาไนโตรเจนเหลว -196 °C อย่างต่อเนื่องและสม่ำเสมอ
ระบบหมุนเวียนความเย็นของไนโตรเจนเหลว
ระบบหมุนเวียนความเย็นของไนโตรเจนเหลวแบบสุญญากาศส่วนใหญ่ประกอบด้วย
● ถังแช่แข็ง
● ท่อหุ้มสุญญากาศหลักและแยก / ท่อหุ้มสุญญากาศ
● ตัวแยกเฟสพิเศษ MBE และท่อไอเสียแบบปลอกหุ้มสุญญากาศ
● วาล์วเสื้อสูญญากาศต่างๆ
● กั้นก๊าซและของเหลว
● ตัวกรองแบบหุ้มสูญญากาศ
● ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก
● ระบบทำความร้อนล่วงหน้าและไล่ความร้อน
บริษัท HL Cryogenic Equipment ได้สังเกตเห็นความต้องการของระบบหล่อเย็นไนโตรเจนเหลวของ MBE ซึ่งจัดระบบแกนหลักทางเทคนิคเพื่อพัฒนาระบบหล่อเย็นไนโตรเจนเหลว MBE แบบพิเศษสำหรับเทคโนโลยี MBE และฉนวนสุญญากาศครบชุดได้สำเร็จedระบบท่อซึ่งใช้ในองค์กร มหาวิทยาลัย และสถาบันวิจัยหลายแห่ง
HL อุปกรณ์ไครโอเจนิก
HL Cryogenic Equipment ซึ่งก่อตั้งขึ้นในปี 1992 เป็นแบรนด์ในเครือของ Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company ในประเทศจีนHL Cryogenic Equipment มุ่งมั่นที่จะออกแบบและผลิตระบบท่อไครโอเจนิกหุ้มฉนวนสุญญากาศสูงและอุปกรณ์สนับสนุนที่เกี่ยวข้อง
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติม โปรดเยี่ยมชมเว็บไซต์ทางการwww.hlcryo.comหรืออีเมล์มาที่info@cdholy.com.
เวลาโพสต์: May-06-2021