สรุปของการวิเคราะห์โครงสร้างโมเลกุลบีมเอพิแทกซี (MBE)
เทคโนโลยี Molecular Beam Epitaxy (MBE) ได้รับการพัฒนาขึ้นในช่วงทศวรรษปี 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เทคโนโลยีการระเหยสูญญากาศ ด้วยการพัฒนาของเทคโนโลยีสูญญากาศระดับสูงพิเศษ การประยุกต์ใช้เทคโนโลยีจึงได้ขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์
แรงจูงใจในการวิจัยวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คือความต้องการอุปกรณ์ใหม่ซึ่งอาจช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของระบบได้ ในทางกลับกัน เทคโนโลยีวัสดุใหม่อาจผลิตอุปกรณ์และเทคโนโลยีใหม่ได้ Molecular Beam Epitaxy (MBE) เป็นเทคโนโลยีสูญญากาศสูงสำหรับการเติบโตของชั้นเอพิแทกเซียล (โดยปกติคือเซมิคอนดักเตอร์) เทคโนโลยีนี้ใช้ลำแสงความร้อนของอะตอมหรือโมเลกุลต้นทางที่กระทบกับพื้นผิวผลึกเดี่ยว ลักษณะสูญญากาศสูงพิเศษของกระบวนการนี้ทำให้สามารถเกิดการโลหะในที่และการเติบโตของวัสดุฉนวนบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ที่เพิ่งเติบโตใหม่ ส่งผลให้มีอินเทอร์เฟซที่ปราศจากมลพิษ
เทคโนโลยี MBE
การเกิดเอพิแทกซีของลำแสงโมเลกุลถูกดำเนินการในสุญญากาศสูงหรือสุญญากาศสูงมาก (1 x 10-8Pa) สิ่งแวดล้อม ด้านที่สำคัญที่สุดของการเคลือบด้วยลำแสงโมเลกุลคืออัตราการสะสมที่ต่ำ ซึ่งโดยปกติแล้วจะทำให้ฟิล์มสามารถเคลือบด้วยคลื่นอิพิแทกเซียลได้ในอัตราต่ำกว่า 3,000 นาโนเมตรต่อชั่วโมง อัตราการสะสมที่ต่ำดังกล่าวต้องใช้สูญญากาศที่สูงเพียงพอเพื่อให้ได้ระดับความสะอาดเท่ากับวิธีการเคลือบอื่นๆ
เพื่อตอบสนองสูญญากาศระดับสูงพิเศษดังที่กล่าวข้างต้น อุปกรณ์ MBE (เซลล์ Knudsen) จึงมีชั้นทำความเย็น และต้องรักษาสภาพแวดล้อมสูญญากาศระดับสูงพิเศษของห้องเจริญเติบโตโดยใช้ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลว ไนโตรเจนเหลวจะทำให้ภายในอุปกรณ์เย็นลงถึง 77 เคลวิน (−196 °C) สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิต่ำสามารถลดปริมาณสิ่งเจือปนในสูญญากาศลงได้อีก และให้เงื่อนไขที่ดีกว่าสำหรับการสะสมฟิล์มบาง ดังนั้น จึงจำเป็นต้องมีระบบหมุนเวียนทำความเย็นไนโตรเจนเหลวโดยเฉพาะเพื่อให้อุปกรณ์ MBE สามารถจ่ายไนโตรเจนเหลว -196 °C ได้อย่างต่อเนื่องและสม่ำเสมอ
ระบบหมุนเวียนความเย็นด้วยไนโตรเจนเหลว
ระบบหมุนเวียนทำความเย็นไนโตรเจนเหลวแบบสูญญากาศประกอบด้วยหลักๆ ดังนี้
● ถังไครโอเจนิก
● ท่อหุ้มสูญญากาศหลักและสาขา / ท่อหุ้มสูญญากาศ
● ตัวแยกเฟสพิเศษ MBE และท่อไอเสียหุ้มสูญญากาศ
● วาล์วหุ้มสูญญากาศหลากหลาย
● กั้นก๊าซและของเหลว
● แผ่นกรองหุ้มสูญญากาศ
● ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก
● ระบบทำความเย็นล่วงหน้าและอุ่นซ้ำแบบเป่าลม
บริษัท HL Cryogenic Equipment ได้สังเกตเห็นความต้องการของระบบทำความเย็นไนโตรเจนเหลวแบบ MBE จึงได้จัดระเบียบโครงข่ายทางเทคนิคเพื่อพัฒนาระบบทำความเย็นไนโตรเจนเหลวแบบ MBE พิเศษสำหรับเทคโนโลยี MBE และชุดฉนวนสูญญากาศที่สมบูรณ์ได้สำเร็จedระบบท่อที่ถูกใช้ในองค์กร มหาวิทยาลัย และสถาบันวิจัยต่างๆ มากมาย
อุปกรณ์ไครโอเจนิก HL
HL Cryogenic Equipment ซึ่งก่อตั้งขึ้นในปี 1992 เป็นแบรนด์ในเครือของบริษัท Chengdu Holy Cryogenic Equipment ในประเทศจีน HL Cryogenic Equipment มุ่งมั่นในการออกแบบและผลิตระบบท่อ Cryogenic ที่มีฉนวนสูญญากาศสูงและอุปกรณ์สนับสนุนที่เกี่ยวข้อง
หากต้องการข้อมูลเพิ่มเติมกรุณาเยี่ยมชมเว็บไซต์อย่างเป็นทางการwww.hlcryo.comหรือส่งอีเมลมาที่info@cdholy.com-
เวลาโพสต์ : 06-05-2021
