บทสรุปของ Molecular Beam Epitaxy (MBE)
เทคโนโลยีของ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ได้รับการพัฒนาในปี 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางของเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เทคโนโลยีการระเหยแบบสุญญากาศด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสุญญากาศสูงพิเศษ การประยุกต์ใช้เทคโนโลยีได้ขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์
แรงจูงใจของการวิจัยวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คือความต้องการอุปกรณ์ใหม่ ซึ่งอาจปรับปรุงประสิทธิภาพของระบบในทางกลับกัน เทคโนโลยีวัสดุใหม่อาจผลิตอุปกรณ์ใหม่และเทคโนโลยีใหม่Molecular Beam Epitaxy (MBE) เป็นเทคโนโลยีสุญญากาศสูงสำหรับการเจริญเติบโตของชั้นเอพิแทกเซียล (โดยปกติคือเซมิคอนดักเตอร์)ใช้ลำแสงความร้อนของอะตอมหรือโมเลกุลต้นทางที่กระทบกับซับสเตรตผลึกเดี่ยวคุณลักษณะสูญญากาศที่สูงเป็นพิเศษของกระบวนการช่วยให้เกิดกระบวนการโลหะในแหล่งกำเนิดและการเติบโตของวัสดุฉนวนบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ที่เพิ่งปลูกใหม่ ส่งผลให้อินเทอร์เฟซปราศจากมลภาวะ
เทคโนโลยีเอ็มบีอี
เอพิแทกซีลำแสงโมเลกุลถูกดำเนินการในสุญญากาศสูงหรือสุญญากาศสูงพิเศษ (1 x 10-8ป) สิ่งแวดล้อมลักษณะที่สำคัญที่สุดของ epitaxy ของลำแสงโมเลกุลคืออัตราการสะสมที่ต่ำ ซึ่งมักจะทำให้ฟิล์มมี epitaxy เติบโตในอัตราน้อยกว่า 3,000 นาโนเมตรต่อชั่วโมงอัตราการสะสมที่ต่ำเช่นนี้ต้องใช้สุญญากาศที่สูงเพียงพอเพื่อให้ได้ความสะอาดในระดับเดียวกับวิธีการสะสมอื่นๆ
เพื่อให้เป็นไปตามสุญญากาศสูงพิเศษที่อธิบายไว้ข้างต้น อุปกรณ์ MBE (เซลล์ Knudsen) มีชั้นทำความเย็น และต้องรักษาสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงพิเศษของห้องการเจริญเติบโตโดยใช้ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลวไนโตรเจนเหลวจะทำให้อุณหภูมิภายในอุปกรณ์เย็นลงเหลือ 77 เคลวิน (-196 °C)สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิต่ำสามารถลดปริมาณสิ่งเจือปนในสุญญากาศลงได้อีก และทำให้เกิดสภาวะที่ดีกว่าสำหรับการสะสมของฟิล์มบางดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีระบบหมุนเวียนความเย็นด้วยไนโตรเจนเหลวโดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ MBE เพื่อให้ไนโตรเจนเหลว -196 °C อย่างต่อเนื่องและสม่ำเสมอ
ระบบหมุนเวียนความเย็นไนโตรเจนเหลว
ระบบหมุนเวียนความเย็นไนโตรเจนเหลวสุญญากาศส่วนใหญ่ประกอบด้วย
● ถังแช่แข็ง
● ท่อหุ้มสูญญากาศหลักและสาขา / ท่อหุ้มสูญญากาศ
● ตัวคั่นเฟสพิเศษของ MBE และท่อไอเสียแบบหุ้มสุญญากาศ
● วาล์วหุ้มสูญญากาศต่างๆ
● สิ่งกีดขวางก๊าซและของเหลว
● ตัวกรองแบบหุ้มสูญญากาศ
● ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก
● ระบบทำความเย็นล่วงหน้าและล้างระบบทำความร้อนซ้ำ
บริษัท HL Cryogenic Equipment สังเกตเห็นความต้องการของระบบทำความเย็นไนโตรเจนเหลว MBE ซึ่งจัดโครงสร้างทางเทคนิคเพื่อประสบความสำเร็จในการพัฒนาระบบระบายความร้อนไนโตรเจนเหลว MBE แบบพิเศษสำหรับเทคโนโลยี MBE และชุดฉนวนสุญญากาศครบชุดedระบบท่อที่ใช้ในองค์กร มหาวิทยาลัย และสถาบันวิจัยหลายแห่ง
อุปกรณ์ HL Cryogenic
HL Cryogenic Equipment ซึ่งก่อตั้งขึ้นในปี 1992 เป็นแบรนด์ในเครือของ Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company ในประเทศจีนอุปกรณ์ HL Cryogenic มุ่งมั่นที่จะออกแบบและผลิตระบบท่อไครโอเจนิกหุ้มฉนวนสุญญากาศสูงและอุปกรณ์สนับสนุนที่เกี่ยวข้อง
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติม กรุณาเยี่ยมชมเว็บไซต์อย่างเป็นทางการwww.hlcryo.comหรือส่งอีเมลไปที่info@cdholy.com-
เวลาโพสต์: May-06-2021