บทสรุปของ Epitaxy ลำแสงโมเลกุล (MBE)
เทคโนโลยีของ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ได้รับการพัฒนาในปี 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เทคโนโลยีการระเหยสูญญากาศ ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสูญญากาศสูงเป็นพิเศษการประยุกต์ใช้เทคโนโลยีได้ขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์
แรงจูงใจของการวิจัยวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คือความต้องการอุปกรณ์ใหม่ซึ่งอาจปรับปรุงประสิทธิภาพของระบบ ในทางกลับกันเทคโนโลยีวัสดุใหม่อาจผลิตอุปกรณ์ใหม่และเทคโนโลยีใหม่ Molecular Beam Epitaxy (MBE) เป็นเทคโนโลยีสูญญากาศสูงสำหรับการเจริญเติบโตของชั้น epitaxial (โดยปกติคือเซมิคอนดักเตอร์) มันใช้ลำแสงความร้อนของอะตอมหรือโมเลกุลที่ส่งผลกระทบต่อสารตั้งต้นผลึกเดี่ยว ลักษณะสูญญากาศที่สูงเป็นพิเศษของกระบวนการช่วยให้ metallization ในแหล่งกำเนิดและการเจริญเติบโตของวัสดุฉนวนบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ที่ปลูกใหม่ส่งผลให้เกิดการเชื่อมต่อที่ปราศจากมลพิษ
เทคโนโลยี MBE
epitaxy ลำแสงโมเลกุลดำเนินการในสุญญากาศสูงหรือสูญญากาศสูงเป็นพิเศษ (1 x 10-8PA) สภาพแวดล้อม สิ่งสำคัญที่สุดของ epitaxy ลำแสงโมเลกุลคืออัตราการสะสมต่ำซึ่งมักจะช่วยให้ฟิล์มเติบโต epitaxial ในอัตราน้อยกว่า 3,000 นาโนเมตรต่อชั่วโมง อัตราการสะสมต่ำเช่นนี้ต้องการสูญญากาศสูงพอที่จะบรรลุระดับความสะอาดในระดับเดียวกับวิธีการสะสมอื่น ๆ
เพื่อให้ได้สูญญากาศสูงพิเศษที่อธิบายไว้ข้างต้นอุปกรณ์ MBE （Knudsen Cell) มีชั้นระบายความร้อนและสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่สูงเป็นพิเศษของห้องเจริญเติบโตจะต้องได้รับการบำรุงรักษาโดยใช้ระบบการไหลเวียนของไนโตรเจนเหลว ไนโตรเจนเหลวทำให้อุณหภูมิภายในของอุปกรณ์เย็นลงถึง 77 เคลวิน (−196 ° C) สภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิต่ำสามารถลดเนื้อหาของสิ่งสกปรกในสุญญากาศและให้เงื่อนไขที่ดีขึ้นสำหรับการสะสมของฟิล์มบาง ดังนั้นระบบการไหลเวียนของการระบายความร้อนไนโตรเจนของเหลวโดยเฉพาะจึงเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับอุปกรณ์ MBE เพื่อจัดหาไนโตรเจนของเหลว -196 ° C อย่างต่อเนื่องและมั่นคง
ระบบการไหลเวียนของการระบายความร้อนไนโตรเจนของเหลว
ระบบการไหลเวียนของการระบายความร้อนไนโตรเจนของเหลวสูญญากาศส่วนใหญ่รวมถึง
●ถังแช่แข็ง
●ท่อแจ็คเก็ตเครื่องดูดฝุ่นหลักและแจ็คเก็ตเครื่องดูดฝุ่น
●ตัวแยกเฟสพิเศษ MBE และท่อไอเสียแจ็คเก็ตสูญญากาศ
●วาล์วแจ็คเก็ตสูญญากาศต่างๆ
●อุปสรรคแก๊ส-ของเหลว
●ตัวกรองแจ็คเก็ตสูญญากาศ
●ระบบปั๊มสูญญากาศแบบไดนามิก
●ระบบอุ่น
บริษัท HL Cryogenic Equipment ได้สังเกตเห็นความต้องการของระบบระบายความร้อนไนโตรเจนเหลว MBE ของ MBE จัดระเบียบกระดูกสันหลังทางเทคนิคเพื่อพัฒนาระบบ COOING ไนโตรเจนของเหลว MBE พิเศษสำหรับเทคโนโลยี MBE และชุดสูญญากาศที่สมบูรณ์edระบบท่อซึ่งใช้ในองค์กรหลายแห่งมหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัย
อุปกรณ์ HL cryogenic
HL Cryogenic Equipment ซึ่งก่อตั้งขึ้นในปี 1992 เป็นแบรนด์ที่เกี่ยวข้องกับ บริษัท Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company ในประเทศจีน HL Cryogenic Equipment มุ่งมั่นที่จะออกแบบและผลิตระบบท่อแช่แข็งที่มีฉนวนกันความร้อนสูงและอุปกรณ์สนับสนุนที่เกี่ยวข้อง
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติมกรุณาเยี่ยมชมเว็บไซต์อย่างเป็นทางการwww.hlcryo.comหรือส่งอีเมลไปที่info@cdholy.com-
เวลาโพสต์: พฤษภาคม -06-2021
