บทสรุปโดยย่อของเทคนิคการปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุล (Molecular Beam Epitaxy: MBE)
เทคโนโลยีการปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุล (Molecular Beam Epitaxy หรือ MBE) ได้รับการพัฒนาขึ้นในทศวรรษ 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เทคโนโลยีการระเหยในสุญญากาศ ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสุญญากาศระดับสูงมาก การประยุกต์ใช้เทคโนโลยีนี้จึงขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์
แรงจูงใจในการวิจัยวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คือความต้องการอุปกรณ์ใหม่ๆ ที่อาจช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของระบบ ในทางกลับกัน เทคโนโลยีวัสดุใหม่ๆ ก็อาจนำไปสู่การพัฒนาอุปกรณ์และเทคโนโลยีใหม่ๆ เทคนิคการปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุล (Molecular beam epitaxy: MBE) เป็นเทคโนโลยีสุญญากาศสูงสำหรับการปลูกผลึกชั้นเดียว (โดยปกติจะเป็นเซมิคอนดักเตอร์) โดยใช้ลำแสงความร้อนจากอะตอมหรือโมเลกุลต้นกำเนิดพุ่งชนพื้นผิวผลึกเดี่ยว คุณลักษณะของสุญญากาศสูงมากในกระบวนการนี้ช่วยให้สามารถทำการเคลือบโลหะและปลูกวัสดุฉนวนบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ที่ปลูกใหม่ได้ในตัว ทำให้ได้พื้นผิวที่ปราศจากมลพิษ
เทคโนโลยีเอ็มบีอี
การปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุล (Molecular Beam Epitaxy) ดำเนินการในสภาวะสุญญากาศสูงหรือสุญญากาศสูงมาก (1 x 10⁻⁶)-8สภาพแวดล้อม Pa) ลักษณะที่สำคัญที่สุดของการปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุลคืออัตราการตกตะกอนที่ต่ำ ซึ่งโดยปกติจะทำให้ฟิล์มเติบโตแบบเอพิแท็กเซียในอัตราน้อยกว่า 3000 นาโนเมตรต่อชั่วโมง อัตราการตกตะกอนที่ต่ำเช่นนี้ต้องการสุญญากาศที่สูงเพียงพอเพื่อให้ได้ระดับความสะอาดเช่นเดียวกับวิธีการตกตะกอนอื่นๆ
เพื่อให้ได้สภาวะสุญญากาศสูงมากตามที่กล่าวมาข้างต้น อุปกรณ์ MBE (เซลล์ Knudsen) จึงมีชั้นระบายความร้อน และต้องรักษาสภาวะสุญญากาศสูงมากภายในห้องการเจริญเติบโตโดยใช้ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลว ไนโตรเจนเหลวจะลดอุณหภูมิภายในอุปกรณ์ลงเหลือ 77 เคลวิน (−196 °C) สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิต่ำจะช่วยลดปริมาณสิ่งเจือปนในสุญญากาศและให้สภาวะที่ดีขึ้นสำหรับการตกตะกอนของฟิล์มบาง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลวเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ MBE เพื่อให้มีการจ่ายไนโตรเจนเหลวที่อุณหภูมิ -196 °C อย่างต่อเนื่องและคงที่
ระบบหมุนเวียนความเย็นด้วยไนโตรเจนเหลว
ระบบหมุนเวียนความเย็นด้วยไนโตรเจนเหลวในสภาวะสุญญากาศประกอบด้วยส่วนประกอบหลักดังต่อไปนี้
● ถังแช่แข็ง
● ท่อหลักและท่อสาขาหุ้มฉนวนสุญญากาศ / สายยางหุ้มฉนวนสุญญากาศ
● ตัวแยกเฟสพิเศษ MBE และท่อไอเสียหุ้มฉนวนสุญญากาศ
● วาล์วหุ้มฉนวนสุญญากาศแบบต่างๆ
● ฉนวนกั้นก๊าซ-ของเหลว
● ตัวกรองแบบหุ้มสุญญากาศ
● ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก
● ระบบทำความเย็นล่วงหน้าและระบบทำความร้อนซ้ำหลังการไล่ก๊าซ
บริษัท HL Cryogenic Equipment ได้เล็งเห็นถึงความต้องการระบบทำความเย็นด้วยไนโตรเจนเหลวสำหรับเทคโนโลยี MBE จึงได้จัดตั้งทีมงานด้านเทคนิคเพื่อพัฒนาและประสบความสำเร็จในการพัฒนาระบบทำความเย็นด้วยไนโตรเจนเหลวสำหรับเทคโนโลยี MBE โดยเฉพาะ รวมถึงชุดฉนวนสุญญากาศครบชุดedระบบท่อ ซึ่งมีการใช้งานอย่างแพร่หลายในองค์กร บริษัท มหาวิทยาลัย และสถาบันวิจัยต่างๆ
อุปกรณ์ไครโอเจนิก HL
บริษัท HL Cryogenic Equipment ก่อตั้งขึ้นในปี 1992 เป็นแบรนด์ในเครือของบริษัท Chengdu Holy Cryogenic Equipment ในประเทศจีน HL Cryogenic Equipment มุ่งมั่นในการออกแบบและผลิตระบบท่อส่งของเหลวแช่แข็งที่มีฉนวนสุญญากาศสูง และอุปกรณ์สนับสนุนที่เกี่ยวข้อง
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติม กรุณาเข้าชมเว็บไซต์อย่างเป็นทางการwww.hlcryo.comหรือส่งอีเมลไปที่info@cdholy.com-
วันที่โพสต์: 6 พฤษภาคม 2564
