สรุปของการศึกษาอิพิแทกซีลำแสงโมเลกุล (MBE)
เทคโนโลยี Molecular Beam Epitaxy (MBE) ได้รับการพัฒนาขึ้นในช่วงทศวรรษ 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางสารกึ่งตัวนำโดยใช้เทคโนโลยีการระเหยสุญญากาศ ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสุญญากาศระดับสูงพิเศษ การประยุกต์ใช้เทคโนโลยีนี้จึงได้ขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์สารกึ่งตัวนำ
แรงจูงใจของการวิจัยวัสดุเซมิคอนดักเตอร์คือความต้องการอุปกรณ์ใหม่ๆ ซึ่งอาจช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของระบบ ในทางกลับกัน เทคโนโลยีวัสดุใหม่ๆ อาจก่อให้เกิดอุปกรณ์และเทคโนโลยีใหม่ๆ Molecular beam epitaxy (MBE) เป็นเทคโนโลยีสุญญากาศสูงสำหรับการเจริญเติบโตของชั้นเอพิแทกเซียล (โดยปกติคือสารกึ่งตัวนำ) โดยใช้ลำแสงความร้อนจากอะตอมหรือโมเลกุลต้นทางที่กระทบกับแผ่นรองรับผลึกเดี่ยว คุณสมบัติสุญญากาศสูงพิเศษของกระบวนการนี้ช่วยให้เกิดการเคลือบผิวโลหะแบบ in-situ และการเจริญเติบโตของวัสดุฉนวนบนพื้นผิวสารกึ่งตัวนำที่เพิ่งสร้างขึ้นใหม่ ส่งผลให้ส่วนต่อประสานปราศจากมลภาวะ
เทคโนโลยี MBE
การดำเนินการเอพิแทกซีลำแสงโมเลกุลเกิดขึ้นในสุญญากาศสูงหรือสุญญากาศสูงมาก (1 x 10-8Pa) สิ่งแวดล้อม สิ่งสำคัญที่สุดของการอิพิแทกซีลำแสงโมเลกุลคืออัตราการสะสมตัวที่ต่ำ ซึ่งโดยปกติแล้วจะทำให้ฟิล์มเติบโตแบบอิพิแทกซีได้ในอัตราน้อยกว่า 3,000 นาโนเมตรต่อชั่วโมง อัตราการสะสมตัวที่ต่ำเช่นนี้ต้องใช้สุญญากาศที่สูงพอที่จะทำให้ได้ระดับความสะอาดเท่ากับวิธีการสะสมตัวอื่นๆ
เพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐานสุญญากาศระดับสูงพิเศษดังที่ได้กล่าวมาแล้ว อุปกรณ์ MBE (เซลล์ Knudsen) จึงมีชั้นทำความเย็น และต้องรักษาสภาพแวดล้อมสุญญากาศระดับสูงพิเศษของห้องเพาะเลี้ยงโดยใช้ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลว ไนโตรเจนเหลวจะทำให้อุณหภูมิภายในอุปกรณ์เย็นลงถึง 77 เคลวิน (−196 °C) สภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิต่ำสามารถลดปริมาณสิ่งเจือปนในสุญญากาศลงได้อีก และให้สภาวะที่เหมาะสมสำหรับการสะสมฟิล์มบาง ดังนั้น อุปกรณ์ MBE จึงจำเป็นต้องมีระบบหมุนเวียนทำความเย็นไนโตรเจนเหลวโดยเฉพาะ เพื่อให้ไนโตรเจนเหลวที่อุณหภูมิ -196 °C สามารถจ่ายได้อย่างต่อเนื่องและสม่ำเสมอ
ระบบหมุนเวียนความเย็นไนโตรเจนเหลว
ระบบหมุนเวียนความเย็นไนโตรเจนเหลวแบบสุญญากาศประกอบด้วยหลักๆ ดังนี้
● ถังไครโอเจนิก
● ท่อหุ้มสูญญากาศหลักและสาขา / ท่อหุ้มสูญญากาศ
● ตัวแยกเฟสพิเศษ MBE และท่อไอเสียหุ้มสูญญากาศ
● วาล์วหุ้มสูญญากาศแบบต่างๆ
● กั้นก๊าซ-ของเหลว
● ตัวกรองแบบหุ้มสูญญากาศ
● ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก
● ระบบทำความเย็นล่วงหน้าและอุ่นซ้ำแบบเป่า
บริษัท HL Cryogenic Equipment ได้สังเกตเห็นความต้องการของระบบทำความเย็นไนโตรเจนเหลวแบบ MBE จึงได้จัดระบบโครงสร้างทางเทคนิคเพื่อพัฒนาระบบทำความเย็นไนโตรเจนเหลวแบบ MBE พิเศษสำหรับเทคโนโลยี MBE และชุดฉนวนสุญญากาศที่สมบูรณ์ได้สำเร็จedระบบท่อซึ่งถูกนำมาใช้ในองค์กรต่างๆ มหาวิทยาลัย และสถาบันวิจัยต่างๆ มากมาย
อุปกรณ์ไครโอเจนิก HL
HL Cryogenic Equipment ก่อตั้งขึ้นในปี พ.ศ. 2535 เป็นแบรนด์ในเครือของบริษัท Chengdu Holy Cryogenic Equipment ในประเทศจีน HL Cryogenic Equipment มุ่งมั่นในการออกแบบและผลิตระบบท่อ Cryogenic ที่มีฉนวนสุญญากาศสูง และอุปกรณ์สนับสนุนที่เกี่ยวข้อง
สำหรับข้อมูลเพิ่มเติมกรุณาเยี่ยมชมเว็บไซต์อย่างเป็นทางการwww.hlcryo.comหรือส่งอีเมลไปที่info@cdholy.com-
เวลาโพสต์: 6 พฤษภาคม 2564
