ระบบทำความเย็นไนโตรเจนเหลวมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิปรวมถึงกระบวนการของ
- เทคโนโลยีของ Epitaxy ลำแสงโมเลกุล (MBE)
- การทดสอบของชิปหลังจากแพ็คเกจ COB
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
ซีรีย์ท่อหุ้มฉนวนสูญญากาศ
ชุดท่อระบายน้ำที่มีฉนวนกันความยืดหยุ่น
ระบบปั๊มสูญญากาศแบบไดนามิก
ชุดคั่นเฟสหุ้มฉนวนสูญญากาศ
ชุดวาล์วหุ้มฉนวนสูญญากาศ
อุปกรณ์สนับสนุนระบบท่อ
epitaxy ลำแสงโมเลกุล
เทคโนโลยีของ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ได้รับการพัฒนาในปี 1950 เพื่อเตรียมวัสดุฟิล์มบางเซมิคอนดักเตอร์โดยใช้เทคโนโลยีการระเหยสูญญากาศ ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสูญญากาศสูงเป็นพิเศษการประยุกต์ใช้เทคโนโลยีได้ขยายไปสู่สาขาวิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์
HL ได้สังเกตเห็นความต้องการของระบบระบายความร้อนไนโตรเจนเหลว MBE ของ MBE ซึ่งจัดระเบียบกระดูกสันหลังทางเทคนิคเพื่อพัฒนาระบบการทำไนโตรเจนของ MBE ของเหลวเป็นพิเศษสำหรับเทคโนโลยี MBE และระบบท่อฉนวนสูญญากาศที่สมบูรณ์ซึ่งใช้ในองค์กรหลายแห่งมหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัยวิจัย .
ปัญหาที่พบบ่อยของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิปรวมถึง
- ความดันของไนโตรเจนเหลวเข้าสู่อุปกรณ์เทอร์มินัล (MBE) ป้องกันความดันเกินพิกัดจากอุปกรณ์ที่สร้างความเสียหาย (MBE)
- การควบคุมของเหลวแช่แข็งหลายตัวและการควบคุมทางออก
- อุณหภูมิของไนโตรเจนเหลวเข้าสู่อุปกรณ์ขั้ว
- การปล่อยก๊าซแช่แข็งในปริมาณที่เหมาะสม
- (อัตโนมัติ) การสลับสายหลักและสาขาสาขา
- การปรับความดัน (ลด) และความเสถียรของวีไอพี
- ทำความสะอาดสิ่งสกปรกที่เป็นไปได้และน้ำแข็งตกค้างจากถัง
- การเติมเวลาของอุปกรณ์ของเหลวเทอร์มินัล
- PIPELINE PRECOOLING
- ความต้านทานของเหลวในระบบวีไอพี
- การควบคุมการสูญเสียไนโตรเจนเหลวในระหว่างการให้บริการของระบบไม่ต่อเนื่อง
ท่อฉนวนสูญญากาศของ HL (VIP) ถูกสร้างขึ้นเพื่อ ASME B31.3 รหัสท่อความดันเป็นมาตรฐาน ประสบการณ์ทางวิศวกรรมและความสามารถในการควบคุมคุณภาพเพื่อให้แน่ใจว่าประสิทธิภาพและความคุ้มค่าของโรงงานของลูกค้า
การแก้ปัญหา
HL Cryogenic Equipment ให้บริการลูกค้าด้วยระบบท่อฉนวนสูญญากาศเพื่อตอบสนองความต้องการและเงื่อนไขของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และชิป:
1. ระบบการจัดการคุณภาพ: ASME B31.3 รหัสท่อความดัน
2.A ตัวแยกเฟสพิเศษที่มีทางเข้าของเหลวแช่แข็งหลายตัวและทางออกที่มีฟังก์ชั่นการควบคุมอัตโนมัติตรงกับความต้องการของการปล่อยก๊าซไนโตรเจนของเหลวรีไซเคิลและอุณหภูมิของไนโตรเจนเหลว
3. การออกแบบไอเสียที่เพียงพอและทันเวลาช่วยให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์เทอร์มินัลทำงานได้ภายในค่าความดันที่ออกแบบมาเสมอ
4. สิ่งกีดขวางก๊าซ-ของเหลวถูกวางไว้ในท่อแนวตั้ง VI ที่ส่วนท้ายของท่อ VI สิ่งกีดขวางก๊าซของเหลวใช้หลักการซีลแก๊สเพื่อปิดกั้นความร้อนจากปลายท่อ VI ลงในท่อ VI และลดการสูญเสียไนโตรเจนเหลวในระหว่างการให้บริการที่ไม่ต่อเนื่องและไม่ต่อเนื่องของระบบ
5.VI ท่อควบคุมโดยชุดวาล์วหุ้มฉนวน (VIV): รวมถึงวาล์วปิดเครื่องดูดฝุ่น (นิวเมติก) วาล์วปิด, วาล์วตรวจสอบฉนวนสูญญากาศ, วาล์วควบคุมฉนวนสูญญากาศ ฯลฯ VIV ประเภทต่างๆ ที่จำเป็น. VIV ถูกรวมเข้ากับการทำก่อนการทำวีไอพีในผู้ผลิตโดยไม่ต้องมีการรักษาด้วยฉนวนในสถานที่ หน่วยซีลของ VIV สามารถเปลี่ยนได้อย่างง่ายดาย (HL ยอมรับแบรนด์ Cryogenic Valve ที่กำหนดโดยลูกค้าจากนั้นจึงทำวาล์วฉนวนสูญญากาศโดย HL แบรนด์และรูปแบบของวาล์วบางรุ่นอาจไม่สามารถกลายเป็นวาล์วฉนวนสูญญากาศได้)
6. ความสะอาดหากมีข้อกำหนดเพิ่มเติมสำหรับความสะอาดพื้นผิวของหลอดด้านใน ขอแนะนำให้ลูกค้าเลือกท่อสแตนเลส BA หรือ EP เป็นท่อภายในวีไอพีเพื่อลดการรั่วไหลของสแตนเลส
7. vacuum ตัวกรองฉนวน: ทำความสะอาดสิ่งสกปรกที่เป็นไปได้และสารตกค้างน้ำแข็งจากถัง
8. หลังจากการปิดหรือการบำรุงรักษาสองสามวันหรือนานกว่านั้นจำเป็นอย่างยิ่งที่จะต้อง precool ท่อ VI และอุปกรณ์เทอร์มินัลก่อนที่จะป้อนของเหลวแช่แข็งเพื่อหลีกเลี่ยงการตะกรันน้ำแข็งหลังจากของเหลวแช่แข็งโดยตรงเข้าสู่ท่อ VI และอุปกรณ์เทอร์มินัล ควรพิจารณาฟังก์ชั่น precooling ในการออกแบบ มันให้การป้องกันที่ดีขึ้นสำหรับอุปกรณ์เทอร์มินัลและอุปกรณ์สนับสนุนท่อ VI เช่นวาล์ว
9. ชุดสำหรับระบบท่อที่มีการป้องกันด้วยเครื่องดูดฝุ่นทั้งแบบไดนามิกและแบบคงที่ (ยืดหยุ่น)
10. ระบบท่อสูญญากาศ (ความยืดหยุ่น) ระบบท่อ: ประกอบด้วยท่อที่มีความยืดหยุ่น VI และ/หรือท่อ VI, ท่อจัมเปอร์, ระบบวาล์วฉนวนสูญญากาศ, ตัวแยกเฟสและระบบปั๊มสูญญากาศแบบไดนามิก (รวมถึงปั๊มสูญญากาศวาล์วโซลินอยด์ ). ความยาวของท่อที่มีความยืดหยุ่น VI เดียวสามารถปรับแต่งตามข้อกำหนดของผู้ใช้
11. ประเภทการเชื่อมต่อที่มีค่า: ประเภทการเชื่อมต่อดาบปลายปืนสูญญากาศ (VBC) และการเชื่อมต่อเชื่อมสามารถเลือกได้ ประเภท VBC ไม่จำเป็นต้องได้รับการรักษาด้วยฉนวนในสถานที่
