เทคนิคการสร้างฟิล์มบางและโครงสร้างนาโนด้วยลำแสงโมเลกุล (Molecular Beam Epitaxy หรือ MBE) เป็นเทคนิคที่มีความแม่นยำสูง ใช้ในการผลิตฟิล์มบางและโครงสร้างนาโนสำหรับงานประยุกต์ต่างๆ รวมถึงอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์อิเล็กโทรออปติก และการคำนวณควอนตัม หนึ่งในความท้าทายที่สำคัญในระบบ MBE คือการรักษาอุณหภูมิให้ต่ำมาก ซึ่งเป็นจุดที่...ท่อหุ้มสุญญากาศท่อ VJP เข้ามามีบทบาท ท่อขั้นสูงเหล่านี้จำเป็นอย่างยิ่งต่อการควบคุมอุณหภูมิในห้อง MBE ทำให้เป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ในการสร้างวัสดุคุณภาพสูงในระดับอะตอม

Molecular Beam Epitaxy (MBE) คืออะไร?

MBE เป็นเทคนิคการตกตะกอนที่เกี่ยวข้องกับการตกตะกอนแบบควบคุมของลำแสงอะตอมหรือโมเลกุลลงบนพื้นผิวในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง กระบวนการนี้ต้องการการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำเพื่อให้ได้คุณสมบัติของวัสดุที่ต้องการ ซึ่งทำให้การจัดการความร้อนเป็นปัจจัยสำคัญ ในระบบ MBE นั้นท่อหุ้มสุญญากาศใช้สำหรับลำเลียงของเหลวและก๊าซแช่แข็ง เพื่อให้มั่นใจว่าพื้นผิวจะคงอยู่ที่อุณหภูมิที่เหมาะสมตลอดกระบวนการการตกตะกอน