Molecular Beam Epitaxy (MBE) เป็นเทคนิคที่มีความแม่นยำสูงซึ่งใช้ในการผลิตฟิล์มบางและโครงสร้างนาโนสำหรับการใช้งานต่างๆ รวมถึงอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และการคำนวณควอนตัม หนึ่งในความท้าทายที่สำคัญในระบบ MBE คือการรักษาอุณหภูมิที่ต่ำมาก ซึ่งก็คือจุดนั้นท่อหุ้มสูญญากาศเอส (VJP) เข้ามามีบทบาท ท่อขั้นสูงเหล่านี้จำเป็นสำหรับการควบคุมความร้อนในห้อง MBE ทำให้เป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ในการบรรลุการเติบโตของวัสดุคุณภาพสูงในระดับอะตอม

Molecular Beam Epitaxy (MBE) คืออะไร?

MBE เป็นเทคนิคการสะสมที่เกี่ยวข้องกับการควบคุมการสะสมของลำแสงอะตอมหรือโมเลกุลลงบนพื้นผิวในสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูง กระบวนการนี้ต้องการการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำเพื่อให้ได้คุณสมบัติของวัสดุที่ต้องการ ซึ่งทำให้การจัดการระบายความร้อนเป็นปัจจัยสำคัญ ในระบบ MBEท่อหุ้มสูญญากาศใช้เพื่อขนส่งของเหลวและก๊าซแช่แข็ง เพื่อให้มั่นใจว่าพื้นผิวยังคงอยู่ที่อุณหภูมิที่เหมาะสมในระหว่างกระบวนการสะสม