Molecular Beam Epitaxy (MBE) เป็นเทคนิคที่แม่นยำสูงที่ใช้ในการประดิษฐ์ฟิล์มบางและโครงสร้างนาโนสำหรับการใช้งานที่หลากหลายรวมถึงอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์, ออพโตอิเล็กทรอนิกส์และการคำนวณควอนตัม หนึ่งในความท้าทายที่สำคัญในระบบ MBE คือการรักษาอุณหภูมิต่ำมากซึ่งเป็นที่ที่ท่อแจ็คเก็ตสูญญากาศS (VJP) เข้ามาเล่น ท่อขั้นสูงเหล่านี้มีความสำคัญต่อการสร้างความมั่นใจในการควบคุมความร้อนในห้อง MBE ทำให้พวกเขาเป็นองค์ประกอบที่ขาดไม่ได้ในการบรรลุการเจริญเติบโตที่มีคุณภาพสูงของวัสดุในระดับอะตอม

Epitaxy Molecular Beam (MBE) คืออะไร?

MBE เป็นเทคนิคการสะสมที่เกี่ยวข้องกับการควบคุมการสะสมของคานอะตอมหรือโมเลกุลลงบนพื้นผิวในสภาพแวดล้อมที่มีปริมาณน้ำเสียสูง กระบวนการต้องการการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำเพื่อให้ได้คุณสมบัติของวัสดุที่ต้องการซึ่งทำให้การจัดการความร้อนเป็นปัจจัยสำคัญ ในระบบ MBEท่อแจ็คเก็ตสูญญากาศใช้ในการพกพาของเหลวและก๊าซแช่แข็งเพื่อให้แน่ใจว่าสารตั้งต้นยังคงอยู่ที่อุณหภูมิที่เหมาะสมในระหว่างกระบวนการสะสม