Molecular Beam Epitaxy (MBE) เป็นเทคนิคที่มีความแม่นยำสูงที่ใช้ในการผลิตฟิล์มบางและโครงสร้างนาโนสำหรับการใช้งานต่างๆ รวมถึงอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และการคำนวณแบบควอนตัม หนึ่งในความท้าทายที่สำคัญในระบบ MBE คือการรักษาอุณหภูมิที่ต่ำมาก ซึ่งเป็นจุดที่ท่อหุ้มสูญญากาศs (VJP) เข้ามามีบทบาท ท่อขั้นสูงเหล่านี้มีความจำเป็นสำหรับการรับประกันการควบคุมอุณหภูมิในห้อง MBE ทำให้เป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ในการบรรลุการเจริญเติบโตของวัสดุที่มีคุณภาพสูงในระดับอะตอม

Molecular Beam Epitaxy (MBE) คืออะไร?

MBE เป็นเทคนิคการสะสมที่เกี่ยวข้องกับการสะสมลำแสงอะตอมหรือโมเลกุลอย่างมีการควบคุมลงบนพื้นผิวในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง กระบวนการนี้ต้องควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำเพื่อให้ได้คุณสมบัติของวัสดุที่ต้องการ ซึ่งทำให้การจัดการความร้อนเป็นปัจจัยสำคัญ ในระบบ MBEท่อหุ้มสูญญากาศใช้ในการขนส่งของเหลวและก๊าซเย็นจัด ช่วยให้มั่นใจได้ว่าสารตั้งต้นยังคงอยู่ในอุณหภูมิที่เหมาะสมระหว่างกระบวนการสะสม