Molecular Beam Epitaxy (MBE) เป็นเทคนิคที่มีความแม่นยำสูงที่ใช้ในการผลิตฟิล์มบางและโครงสร้างนาโนสำหรับการใช้งานหลากหลายประเภท รวมถึงอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และคอมพิวเตอร์ควอนตัม หนึ่งในความท้าทายสำคัญในระบบ MBE คือการรักษาอุณหภูมิให้ต่ำมาก ซึ่งเป็นจุดที่ท่อหุ้มสูญญากาศs (VJP) เข้ามามีบทบาท ท่อขั้นสูงเหล่านี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการควบคุมความร้อนในห้อง MBE ซึ่งทำให้เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ขาดไม่ได้ในการบรรลุการเจริญเติบโตของวัสดุคุณภาพสูงในระดับอะตอม

Molecular Beam Epitaxy (MBE) คืออะไร?

MBE เป็นเทคนิคการสะสมตัวที่เกี่ยวข้องกับการสะสมตัวของลำแสงอะตอมหรือโมเลกุลบนวัสดุตั้งต้นในสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูง กระบวนการนี้ต้องการการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำเพื่อให้ได้คุณสมบัติของวัสดุตามที่ต้องการ ซึ่งทำให้การจัดการความร้อนเป็นปัจจัยสำคัญ ในระบบ MBEท่อหุ้มสูญญากาศใช้ในการขนส่งของเหลวและก๊าซที่อุณหภูมิต่ำมาก เพื่อให้แน่ใจว่าสารตั้งต้นยังคงอยู่ในอุณหภูมิที่เหมาะสมในระหว่างกระบวนการสะสม