หัวใจสำคัญของ MBE: เหตุใดการแยกเฟสจึงมีความสำคัญต่อการเจริญเติบโตของแกลเลียมไนไตรด์ (GaN)

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งด้วยวิธีการปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุล (Molecular Beam Epitaxy หรือ MBE) การรักษาสภาพแวดล้อมทางความร้อนให้คงที่นั้นสำคัญที่สุด หากคุณต้องการผลึกที่บริสุทธิ์และชั้นผลึกที่สม่ำเสมอ คุณต้อง...'ไม่มีทางเลี่ยงได้เลย ที่ HL Cryogenics เราทราบดีว่าความท้าทายที่แท้จริงของการเติบโตของแกลเลียมไนไตรด์ (GaN) นั้นขึ้นอยู่กับว่าคุณควบคุมการส่งไนโตรเจนเหลว (LN) ได้ดีแค่ไหน) ไปยังผ้าห่อศพแช่แข็ง'เกมแห่งความแม่นยำทุกหยดต้องเป็นของเหลวบริสุทธิ์ที่เย็นจัด จนถึงจุดที่สำคัญที่สุด หากมีก๊าซไนโตรเจนปนเข้ามาแม้แต่น้อยโดยปกติเกิดจากความร้อนที่เล็ดลอดเข้ามาในระหว่างการถ่ายโอนคุณจะพบจุดที่มีความร้อนสูงและการถ่มน้ำลายภายในห้อง MBE นั้น'นั่นเป็นข่าวร้ายสำหรับคุณภาพฟิล์ม GaN

นี่คือจุดของเราตัวแยกเฟสฉนวนสุญญากาศช่วยเพิ่มประสิทธิภาพ ด้วยการติดตั้งอุปกรณ์นี้ไว้ที่ปลายสุดของสายส่งไนโตรเจนเหลว เราจึงสามารถดักจับและกำจัดก๊าซที่พุ่งออกมาได้ก่อนที่จะก่อให้เกิดความเสียหายใดๆ ผลลัพธ์ที่ได้คือ กระแสไนโตรเจนเหลวที่สม่ำเสมอและหนาแน่น ซึ่งเป็นสิ่งที่คุณต้องการอย่างแท้จริง อุปกรณ์นี้ทำงานร่วมกับระบบอื่นๆ ของเราได้อย่างลงตัวท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศและท่ออ่อนซึ่งทั้งสองแบบได้รับการออกแบบมาเพื่อป้องกันความร้อนจากภายนอกไม่ให้แทรกซึมเข้ามา ท่อใช้ฉนวนสุญญากาศขั้นสูงและเทคโนโลยีหลายชั้นเพื่อกักเก็บความเย็น ลดการสูญเสียไนโตรเจนเหลวเมื่อเทียบกับท่อโฟมแบบเก่า และสำหรับจุดที่คุณต้องการความยืดหยุ่นหรือมีโครงสร้างที่ซับซ้อน เราก็มีผลิตภัณฑ์ที่เหมาะสมให้เลือกท่ออ่อนหุ้มฉนวนสุญญากาศโค้งงอและเคลื่อนไหวได้โดยไม่สูญเสียคุณสมบัติการเป็นฉนวนหรือความปลอดภัย

เพื่อให้ระดับสุญญากาศเหล่านี้คงที่อย่างมั่นคงตลอดหลายปีที่ผ่านมา เราจึงอาศัย...ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก. มัน'ระบบจะคอยตรวจสอบและรักษาระดับความดันในปลอกสุญญากาศอยู่เสมอ เพื่อให้ฉนวนไม่ทำให้คุณผิดหวัง สำหรับการควบคุมการไหล เราใช้วาล์วฉนวนสุญญากาศที่ได้รับการออกแบบอย่างแม่นยำ วาล์วนี้ช่วยป้องกันการลัดวงจรความร้อนและการสะสมของน้ำแข็งที่ก้านวาล์ว และให้การปิดกั้นที่แน่นหนาและการควบคุมการไหลที่แม่นยำ แม้ที่อุณหภูมิ -196 องศาเซลเซียส°C.

วาล์วฉนวนสุญญากาศ1
ท่ออ่อนหุ้มฉนวนสุญญากาศ3

หากคุณต้องการระบบจัดเก็บแบบกระจายศูนย์หรือแหล่งจ่ายในพื้นที่ มินิแทงค์ของเราถูกออกแบบมาให้ทนทานสำหรับเครือข่ายไครโอเจนิกที่มีความบริสุทธิ์สูง ระบบของเรามีอยู่ทุกที่ลองนึกถึงการทดสอบด้านอวกาศ ห้องปฏิบัติการทางการแพทย์ สถานีขนส่งก๊าซธรรมชาติเหลวขนาดใหญ่ และห้องปลอดฝุ่นสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพราะความน่าเชื่อถือเป็นสิ่งที่ไม่สามารถต่อรองได้ เราใช้วัสดุสแตนเลสคุณภาพสูงและมุ่งเน้นที่การทำให้มั่นใจว่าทุกอย่างทำงานได้อย่างปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ

โดยการลดอัตราส่วนของก๊าซต่อของเหลวด้วยวิธีการของเราตัวแยกเฟสเรามอบสภาวะอุณหภูมิเยือกแข็งที่เสถียรซึ่งจำเป็นต่อการผลิต GaN ให้แก่คุณ'นอกจากนี้ยังทำให้การบำรุงรักษาทำได้ง่ายขึ้นด้วยระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกหมายความว่าไม่ต้องใช้เครื่องดูดฝุ่นแบบมืออีกต่อไป และคุณสามารถเปลี่ยนได้วาล์วฉนวนสุญญากาศที่นั่งโดยไม่ทำให้สุญญากาศแตก ไม่ว่าคุณจะ'ไม่ว่าจะเป็นการลำเลียงไนโตรเจนเหลว ออกซิเจนเหลว หรือ LNG ท่อและสายยางของเราจะเชื่อมต่อกันอย่างราบรื่น ปราศจากรอยรั่ว'ไม่ใช่แค่ท่อและสายยางเท่านั้นพวกเขา'เครื่องมือที่มีความแม่นยำสูงสำหรับการจัดการความร้อน

ที่ HL Cryogenics เราเข้าใจดีว่าทุกส่วนของระบบส่งผ่านความเย็นจัดต้องทำงานได้อย่างไร้ที่ติเพื่อให้การเติบโตของ GaN ประสบความสำเร็จ หากคุณต้องการพูดคุยเกี่ยวกับวิธีที่โซลูชันแบบกำหนดเองและฉนวนสุญญากาศระดับสูงสุดของเราจะช่วยให้โครงการของคุณดียิ่งขึ้น โปรดติดต่อเราwe'เราพร้อมที่จะช่วยเหลือคุณให้ทำได้ถูกต้อง

วาล์วหุ้มฉนวนสุญญากาศ
ตัวคั่นเฟสฉนวนสุญญากาศ2

วันที่เผยแพร่: 31 ธันวาคม 2025