โครงการ Chip MBE เสร็จสมบูรณ์ในปีที่ผ่านมา

เทคโนโลยี

Epitaxy ลำแสงโมเลกุลหรือ MBE เป็นเทคนิคใหม่สำหรับการปลูกฟิล์มบางคุณภาพสูงของผลึกบนพื้นผิวคริสตัล ในสภาวะสูญญากาศสูงเป็นพิเศษโดยเตาทำความร้อนนั้นมีส่วนประกอบที่ต้องการทุกชนิดและสร้างไอน้ำผ่านรูที่เกิดขึ้นหลังจากคานคานคานหรือลำแสงโมเลกุลการฉีดโดยตรงไปยังอุณหภูมิที่เหมาะสมของพื้นผิวผลึกเดี่ยว การสแกนพื้นผิวในเวลาเดียวกันมันสามารถทำให้โมเลกุลหรืออะตอมในชั้นการจัดแนวคริสตัลเพื่อสร้างฟิล์มบาง ๆ บนพื้นผิว "การเจริญเติบโต"

สำหรับการทำงานปกติของอุปกรณ์ MBE ความบริสุทธิ์สูงความดันต่ำและไนโตรเจนเหลวที่สะอาดเป็นพิเศษจะต้องมีการขนส่งอย่างต่อเนื่องและเสถียรไปยังห้องระบายความร้อนของอุปกรณ์ โดยทั่วไปถังที่ให้ไนโตรเจนเหลวมีความดันเอาท์พุทระหว่าง 0.3mpa และ 0.8mpa ไนโตรเจนที่ -196 ℃สามารถระเหยกลายเป็นไนโตรเจนได้อย่างง่ายดายในระหว่างการขนส่งไปป์ไลน์ เมื่อไนโตรเจนเหลวที่มีอัตราส่วนก๊าซของเหลวประมาณ 1: 700 จะถูกทำให้เป็นก๊าซในท่อมันจะใช้พื้นที่การไหลของไนโตรเจนของเหลวจำนวนมากและลดการไหลปกติที่ส่วนท้ายของท่อไนโตรเจนเหลว นอกจากนี้ในถังเก็บไนโตรเจนเหลวมีแนวโน้มที่จะเป็นเศษซากที่ยังไม่ได้รับการทำความสะอาด ในท่อส่งไนโตรเจนเหลวการมีอยู่ของอากาศเปียกจะนำไปสู่การสร้างน้ำแข็ง หากสิ่งเจือปนเหล่านี้ถูกปล่อยเข้าไปในอุปกรณ์มันจะทำให้เกิดความเสียหายที่คาดเดาไม่ได้กับอุปกรณ์

ดังนั้นไนโตรเจนเหลวในถังเก็บกลางแจ้งจะถูกส่งไปยังอุปกรณ์ MBE ในเวิร์กช็อปที่ปราศจากฝุ่นที่มีประสิทธิภาพสูงความมั่นคงและความสะอาดและความดันต่ำไม่มีไนโตรเจนไม่มีสิ่งสกปรก 24 ชั่วโมงระบบควบคุมการขนส่งดังกล่าว ผลิตภัณฑ์ที่ผ่านการรับรอง

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

อุปกรณ์ MBE ที่ตรงกัน

ตั้งแต่ปี 2548 อุปกรณ์ HL Cryogenic (HL Cryo) ได้รับการปรับปรุงและปรับปรุงระบบนี้และร่วมมือกับผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE ระหว่างประเทศ ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE รวมถึง DCA, Reber มีความสัมพันธ์แบบร่วมมือกับ บริษัท ของเรา ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE รวมถึง DCA และ Reber ได้ให้ความร่วมมือกับโครงการจำนวนมาก

Riber SA เป็นผู้ให้บริการชั้นนำระดับโลกของผลิตภัณฑ์ Molecular Beam Epitaxy (MBE) และบริการที่เกี่ยวข้องสำหรับการวิจัยสารประกอบเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมและการใช้งานอุตสาหกรรม อุปกรณ์ Riber MBE สามารถฝากวัสดุที่บางมากบนพื้นผิวด้วยการควบคุมที่สูงมาก อุปกรณ์สูญญากาศของ HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) มาพร้อมกับ Riber SA อุปกรณ์ที่ใหญ่ที่สุดคือ Riber 6000 และขนาดเล็กที่สุดคือขนาดกะทัดรัด 21 มันอยู่ในสภาพดีและได้รับการยอมรับจากลูกค้า

DCA เป็น MBE ออกไซด์ชั้นนำของโลก ตั้งแต่ปี 1993 มีการพัฒนาอย่างเป็นระบบของเทคนิคการออกซิเดชั่นสารต้านอนุมูลอิสระสารต้านอนุมูลอิสระและแหล่งสารต้านอนุมูลอิสระได้ดำเนินการแล้ว ด้วยเหตุนี้ห้องปฏิบัติการชั้นนำหลายแห่งจึงเลือกเทคโนโลยี DCA ออกไซด์ คอมโพสิตเซมิคอนดักเตอร์ MBE ใช้ทั่วโลก ระบบการหมุนเวียนไนโตรเจนของเหลว VJ ของอุปกรณ์ HL cryogenic (HL Cryo) และอุปกรณ์ MBE ของ DCA หลายรุ่นมีประสบการณ์การจับคู่ในหลายโครงการเช่นรุ่น P600, R450, SGC800 ฯลฯ

TCM (2)

ตารางประสิทธิภาพ

สถาบันฟิสิกส์เทคนิคเซี่ยงไฮ้เซี่ยงไฮ้สถาบันวิทยาศาสตร์แห่งจีน
บริษัท เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์แห่งจีนที่ 11
สถาบันเซมิคอนดักเตอร์, สถาบันวิทยาศาสตร์แห่งจีน
หัวเว่ย
Alibaba Damo Academy
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

เวลาโพสต์: พฤษภาคม -26-2021

ฝากข้อความของคุณ