เทคโนโลยี
Molecular Beam Epitaxy หรือ MBE เป็นเทคนิคใหม่สำหรับการปลูกฟิล์มบางคุณภาพสูงของผลึกบนพื้นผิวคริสตัล ในสภาวะสุญญากาศที่สูงเป็นพิเศษ เตาทำความร้อนจะติดตั้งส่วนประกอบที่จำเป็นทุกชนิดและสร้างไอน้ำ ผ่านรูที่เกิดขึ้นหลังจากลำแสงอะตอมหรือลำแสงโมเลกุลที่เรียงตัวกัน ฉีดตรงไปยังอุณหภูมิที่เหมาะสมของพื้นผิวผลึกเดี่ยว ควบคุมลำแสงโมเลกุลไป การสแกนสารตั้งต้นในเวลาเดียวกันก็สามารถทำให้โมเลกุลหรืออะตอมในชั้นการจัดตำแหน่งคริสตัลกลายเป็นฟิล์มบาง ๆ บน "การเจริญเติบโต" ของสารตั้งต้น
สำหรับการใช้งานปกติของอุปกรณ์ MBE จำเป็นต้องขนส่งไนโตรเจนเหลวที่มีความบริสุทธิ์สูง ความดันต่ำ และสะอาดเป็นพิเศษไปยังห้องทำความเย็นของอุปกรณ์อย่างต่อเนื่องและเสถียร โดยทั่วไป ถังที่ใช้ไนโตรเจนเหลวจะมีแรงดันเอาต์พุตระหว่าง 0.3MPa ถึง 0.8MPa ไนโตรเจนเหลวที่ -196°C จะถูกระเหยเป็นไนโตรเจนได้ง่ายในระหว่างการขนส่งทางท่อ เมื่อไนโตรเจนเหลวที่มีอัตราส่วนก๊าซต่อของเหลวประมาณ 1:700 ถูกทำให้เป็นแก๊สในท่อ มันจะครอบครองพื้นที่การไหลของไนโตรเจนเหลวจำนวนมาก และลดการไหลปกติที่ส่วนท้ายของท่อไนโตรเจนเหลว นอกจากนี้ในถังเก็บไนโตรเจนเหลวยังมีโอกาสมีเศษซากที่ยังไม่ได้ทำความสะอาดอีกด้วย ในท่อส่งไนโตรเจนเหลว การมีอยู่ของอากาศเปียกจะนำไปสู่การสร้างตะกรันน้ำแข็งด้วย หากสิ่งเจือปนเหล่านี้ถูกระบายลงในอุปกรณ์ จะทำให้อุปกรณ์เสียหายอย่างไม่อาจคาดเดาได้
ดังนั้นไนโตรเจนเหลวในถังเก็บกลางแจ้งจึงถูกขนส่งไปยังอุปกรณ์ MBE ในเวิร์คช็อปไร้ฝุ่นที่มีประสิทธิภาพ เสถียร และสะอาดสูง และแรงดันต่ำ ไม่มีไนโตรเจน ไม่มีสิ่งเจือปน ไม่สะดุด 24 ชั่วโมง ระบบควบคุมการขนส่งดังกล่าวคือ ผลิตภัณฑ์ที่ผ่านการรับรอง
จับคู่อุปกรณ์ MBE
ตั้งแต่ปี 2005 HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ได้เพิ่มประสิทธิภาพและปรับปรุงระบบนี้ และร่วมมือกับผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE ระหว่างประเทศ ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE รวมถึง DCA, REBER มีความสัมพันธ์ความร่วมมือกับบริษัทของเรา ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE รวมถึง DCA และ REBER ได้ร่วมมือกันในโครงการจำนวนมาก
Riber SA คือผู้ให้บริการชั้นนำระดับโลกด้านผลิตภัณฑ์ Molecular Beam Epitaxy (MBE) และบริการที่เกี่ยวข้องสำหรับการวิจัยเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมและการใช้งานทางอุตสาหกรรม อุปกรณ์ Riber MBE สามารถสะสมชั้นวัสดุบางมากไว้บนพื้นผิวได้ โดยมีการควบคุมที่สูงมาก อุปกรณ์สูญญากาศของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ติดตั้ง Riber SA อุปกรณ์ที่ใหญ่ที่สุดคือ Riber 6000 และเล็กที่สุดคือ Compact 21 อยู่ในสภาพดีและได้รับการยอมรับจากลูกค้า
DCA คือ MBE ออกไซด์ชั้นนำของโลก ตั้งแต่ปี 1993 เป็นต้นมา ได้มีการพัฒนาเทคนิคการออกซิเดชั่น การให้ความร้อนกับสารต้านอนุมูลอิสระ และแหล่งสารต้านอนุมูลอิสระอย่างเป็นระบบ ด้วยเหตุนี้ห้องปฏิบัติการชั้นนำหลายแห่งจึงเลือกใช้เทคโนโลยี DCA ออกไซด์ ระบบ MBE แบบคอมโพสิตเซมิคอนดักเตอร์ถูกนำมาใช้ทั่วโลก ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลว VJ ของอุปกรณ์ HL Cryogenic (HL CRYO) และอุปกรณ์ MBE ของ DCA หลายรุ่น มีประสบการณ์ที่ตรงกันในหลายโครงการ เช่น รุ่น P600, R450, SGC800 เป็นต้น
ตารางประสิทธิภาพ
สถาบันฟิสิกส์เทคนิคเซี่ยงไฮ้, สถาบันวิทยาศาสตร์จีน |
สถาบันเทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์แห่งประเทศจีนแห่งที่ 11 |
สถาบันเซมิคอนดักเตอร์, Chinese Academy of Sciences |
หัวเว่ย |
อาลีบาบา DAMO Academy |
พาวเวอร์เทค เทคโนโลยี อิงค์ |
เดลต้าอิเล็กทรอนิกส์อิงค์ |
ซูโจว เอเวอร์ไบรท์ โฟโตนิกส์ |
เวลาโพสต์: May-26-2021