โครงการ Chip MBE ที่เสร็จสมบูรณ์ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา

เทคโนโลยี

เทคนิคการฉายรังสีแบบโมเลกุลบีม (Molecular Beam Epitaxy หรือ MBE) เป็นเทคนิคใหม่สำหรับการปลูกฟิล์มบางคุณภาพสูงของผลึกบนแผ่นรองรับผลึก ในสภาวะสุญญากาศระดับสูงพิเศษ เตาเผาจะติดตั้งส่วนประกอบที่จำเป็นทุกชนิดและสร้างไอน้ำผ่านรูที่เกิดขึ้นหลังจากการรวมลำแสงอะตอมหรือลำแสงโมเลกุล ฉีดเข้าไปยังอุณหภูมิที่เหมาะสมของแผ่นรองรับผลึกเดี่ยวโดยตรง ขณะเดียวกันก็ควบคุมลำแสงโมเลกุลไปยังแผ่นรองรับ ซึ่งทำให้โมเลกุลหรืออะตอมในชั้นจัดเรียงผลึกกลายเป็นฟิล์มบางๆ บนแผ่นรองรับผลึก "เติบโต"

ในการทำงานปกติของอุปกรณ์ MBE จำเป็นต้องมีการขนส่งไนโตรเจนเหลวที่มีความบริสุทธิ์สูง แรงดันต่ำ และสะอาดเป็นพิเศษไปยังห้องทำความเย็นของอุปกรณ์อย่างต่อเนื่องและเสถียร โดยทั่วไป ถังที่จ่ายไนโตรเจนเหลวจะมีแรงดันเอาต์พุตอยู่ระหว่าง 0.3 MPa ถึง 0.8 MPa ไนโตรเจนเหลวที่อุณหภูมิ -196°C จะถูกเปลี่ยนเป็นไนโตรเจนได้ง่ายในระหว่างการขนส่งทางท่อ เมื่อไนโตรเจนเหลวที่มีอัตราส่วนก๊าซต่อของเหลวประมาณ 1:700 ถูกทำให้เป็นก๊าซในท่อ มันจะกินพื้นที่การไหลของไนโตรเจนเหลวจำนวนมากและลดการไหลปกติที่ปลายท่อไนโตรเจนเหลว นอกจากนี้ ในถังเก็บไนโตรเจนเหลวอาจมีเศษซากที่ไม่ได้รับการทำความสะอาด ในท่อไนโตรเจนเหลว การมีอากาศชื้นอาจทำให้เกิดตะกรันน้ำแข็ง หากสิ่งสกปรกเหล่านี้ถูกปล่อยเข้าไปในอุปกรณ์ จะทำให้เกิดความเสียหายที่ไม่คาดคิดต่ออุปกรณ์

ดังนั้นไนโตรเจนเหลวในถังเก็บกลางแจ้งจึงถูกขนส่งไปยังอุปกรณ์ MBE ในเวิร์กช็อปที่ปราศจากฝุ่นด้วยประสิทธิภาพสูง ความเสถียร และความสะอาด และความดันต่ำ ไม่มีไนโตรเจน ไม่มีสิ่งเจือปน ต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง ระบบควบคุมการขนส่งดังกล่าวจึงเป็นผลิตภัณฑ์ที่มีคุณสมบัติ

แพทย์แผนจีน (4)
แพทย์แผนจีน (1)
แพทย์แผนจีน (3)

การจับคู่อุปกรณ์ MBE

ตั้งแต่ปี พ.ศ. 2548 HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ได้ดำเนินการปรับปรุงและพัฒนาระบบนี้อย่างต่อเนื่อง พร้อมทั้งร่วมมือกับผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE นานาชาติ ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE อย่างเช่น DCA และ REBER ต่างมีความสัมพันธ์อันดีกับบริษัทของเรา ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE อย่างเช่น DCA และ REBER ได้ร่วมมือในโครงการต่างๆ มากมาย

Riber SA เป็นผู้ให้บริการชั้นนำระดับโลกด้านผลิตภัณฑ์อิพิแทกซีลำแสงโมเลกุล (MBE) และบริการที่เกี่ยวข้องสำหรับการวิจัยสารกึ่งตัวนำเชิงประกอบและการประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรม อุปกรณ์ Riber MBE สามารถเคลือบวัสดุบางๆ ลงบนวัสดุรองรับได้ โดยมีการควบคุมที่มีประสิทธิภาพสูง อุปกรณ์สุญญากาศของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) มาพร้อมกับ Riber SA โดยอุปกรณ์ที่ใหญ่ที่สุดคือ Riber 6000 และขนาดเล็กที่สุดคือ Compact 21 อุปกรณ์นี้อยู่ในสภาพดีและได้รับการยอมรับจากลูกค้า

DCA คือผู้ผลิต MBE ออกไซด์ชั้นนำของโลก ตั้งแต่ปี พ.ศ. 2536 ได้มีการพัฒนาเทคนิคการออกซิเดชัน การให้ความร้อนแก่สารต้านอนุมูลอิสระ และแหล่งสารต้านอนุมูลอิสระอย่างเป็นระบบ ด้วยเหตุนี้ ห้องปฏิบัติการชั้นนำหลายแห่งจึงเลือกใช้เทคโนโลยี DCA ออกไซด์ ระบบ MBE สารกึ่งตัวนำคอมโพสิตถูกนำมาใช้ทั่วโลก ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลว VJ ของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) และอุปกรณ์ MBE ของ DCA หลายรุ่น มีประสบการณ์ที่ตรงกันในหลายโครงการ เช่น รุ่น P600, R450, SGC800 เป็นต้น

แพทย์แผนจีน (2)

ตารางประสิทธิภาพ

สถาบันฟิสิกส์เทคนิคเซี่ยงไฮ้ สถาบันวิทยาศาสตร์จีน
สถาบันเทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์แห่งประเทศจีนแห่งที่ 11
สถาบันเซมิคอนดักเตอร์ สถาบันวิทยาศาสตร์จีน
หัวเว่ย
อาลีบาบา ดาโม อะคาเดมี
บริษัท พาวเวอร์เทค เทคโนโลยี อิงค์
บริษัท เดลต้า อีเลคโทรนิคส์ จำกัด
ซูโจว เอเวอร์ไบรท์ โฟโตนิกส์

เวลาโพสต์: 26 พฤษภาคม 2564

ฝากข้อความของคุณ