เทคโนโลยี
โมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซี หรือ MBE เป็นเทคนิคใหม่สำหรับการปลูกฟิล์มบางคุณภาพสูงของผลึกบนพื้นผิวผลึก ในสภาวะสุญญากาศที่สูงมาก โดยเตาทำความร้อนจะติดตั้งส่วนประกอบที่จำเป็นทุกชนิดและสร้างไอน้ำ โดยผ่านรูที่เกิดขึ้นหลังจากการรวมลำแสงอะตอมหรือลำแสงโมเลกุล ฉีดโดยตรงไปยังอุณหภูมิที่เหมาะสมของพื้นผิวผลึกเดี่ยว โดยควบคุมลำแสงโมเลกุลไปยังพื้นผิวที่สแกนในเวลาเดียวกัน สามารถทำให้โมเลกุลหรืออะตอมในชั้นการเรียงตัวของผลึกสร้างฟิล์มบางบนพื้นผิว "การเจริญเติบโต"
สำหรับการทำงานปกติของอุปกรณ์ MBE จำเป็นต้องมีการขนส่งไนโตรเจนเหลวที่มีความบริสุทธิ์สูง แรงดันต่ำ และสะอาดเป็นพิเศษไปยังห้องทำความเย็นของอุปกรณ์อย่างต่อเนื่องและเสถียร โดยทั่วไป ถังที่จ่ายไนโตรเจนเหลวจะมีแรงดันเอาต์พุตระหว่าง 0.3MPa ถึง 0.8MPa ไนโตรเจนเหลวที่อุณหภูมิ -196℃ จะระเหยเป็นไนโตรเจนได้ง่ายในระหว่างการขนส่งทางท่อ เมื่อไนโตรเจนเหลวที่มีอัตราส่วนก๊าซต่อของเหลวประมาณ 1:700 ถูกทำให้เป็นก๊าซในท่อ ไนโตรเจนเหลวจะครอบครองพื้นที่การไหลของไนโตรเจนเหลวจำนวนมากและลดการไหลปกติที่ปลายท่อไนโตรเจนเหลว นอกจากนี้ ในถังเก็บไนโตรเจนเหลว อาจมีเศษซากที่ไม่ได้รับการทำความสะอาด ในท่อไนโตรเจนเหลว การมีอากาศชื้นยังทำให้เกิดตะกรันน้ำแข็งอีกด้วย หากสิ่งสกปรกเหล่านี้ถูกปล่อยลงในอุปกรณ์ จะทำให้เกิดความเสียหายต่ออุปกรณ์โดยไม่คาดคิด
ดังนั้นไนโตรเจนเหลวในถังเก็บกลางแจ้งจึงถูกขนส่งไปยังอุปกรณ์ MBE ในเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นด้วยประสิทธิภาพสูง เสถียรภาพ และสะอาด และแรงดันต่ำ ไม่มีไนโตรเจน ไม่มีสิ่งเจือปน ไม่มีการหยุดชะงักตลอด 24 ชั่วโมง ระบบควบคุมการขนส่งดังกล่าวจึงเป็นผลิตภัณฑ์ที่มีคุณสมบัติเหมาะสม



การจับคู่อุปกรณ์ MBE
ตั้งแต่ปี 2005 HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ได้ปรับปรุงและพัฒนาระบบนี้ให้เหมาะสมที่สุดและร่วมมือกับผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE ในระดับนานาชาติ ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE เช่น DCA และ REBER มีความสัมพันธ์ร่วมมือกับบริษัทของเรา ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE เช่น DCA และ REBER ได้ร่วมมือกันในโครงการต่างๆ มากมาย
Riber SA เป็นผู้ให้บริการผลิตภัณฑ์และบริการที่เกี่ยวข้องด้านการสร้างลำแสงโมเลกุล (MBE) ชั้นนำระดับโลกสำหรับการวิจัยสารกึ่งตัวนำและการใช้งานในอุตสาหกรรม อุปกรณ์ Riber MBE สามารถเคลือบวัสดุเป็นชั้นบาง ๆ บนพื้นผิวได้ โดยมีการควบคุมที่สูงมาก อุปกรณ์สูญญากาศของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ติดตั้ง Riber SA โดยอุปกรณ์ที่ใหญ่ที่สุดคือ Riber 6000 และขนาดเล็กที่สุดคือ Compact 21 อุปกรณ์นี้อยู่ในสภาพดีและได้รับการยอมรับจากลูกค้า
DCA คือ MBE ออกไซด์ชั้นนำของโลก ตั้งแต่ปี 1993 เป็นต้นมา ได้มีการพัฒนาอย่างเป็นระบบของเทคนิคการออกซิเดชัน การให้ความร้อนกับสารต้านอนุมูลอิสระ และแหล่งของสารต้านอนุมูลอิสระ ด้วยเหตุนี้ ห้องปฏิบัติการชั้นนำหลายแห่งจึงเลือกใช้เทคโนโลยีออกไซด์ DCA ระบบ MBE ของเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมถูกนำมาใช้ทั่วโลก ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลว VJ ของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) และอุปกรณ์ MBE ของ DCA หลายรุ่นมีประสบการณ์ที่ตรงกันในหลายโครงการ เช่น รุ่น P600, R450, SGC800 เป็นต้น

ตารางแสดงผลงาน
สถาบันฟิสิกส์เทคนิคเซี่ยงไฮ้ สถาบันวิทยาศาสตร์จีน |
สถาบันเทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์แห่งประเทศจีนแห่งที่ 11 |
สถาบันเซมิคอนดักเตอร์ สถาบันวิทยาศาสตร์จีน |
หัวเว่ย |
อาลีบาบา ดาโม อะคาเดมี |
บริษัท พาวเวอร์เทค เทคโนโลยี อิงค์ |
บริษัท เดลต้า อีเลคโทรนิคส์ จำกัด |
ซูโจว เอเวอร์ไบรท์ โฟโตนิกส์ |
เวลาโพสต์ : 26 พฤษภาคม 2564