โครงการ Chip MBE ที่เสร็จสมบูรณ์ในช่วงหลายปีที่ผ่านมา

เทคโนโลยี

การปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุล หรือ MBE เป็นเทคนิคใหม่สำหรับการปลูกฟิล์มบางคุณภาพสูงของผลึกบนพื้นผิวผลึก ในสภาวะสุญญากาศสูงมาก โดยใช้เตาให้ความร้อนที่มีส่วนประกอบที่จำเป็นทั้งหมดและสร้างไอน้ำ จากนั้นจึงฉายลำแสงอะตอมหรือโมเลกุลที่ปรับลำแสงแล้วผ่านรูที่เกิดขึ้นไปยังพื้นผิวผลึกเดี่ยวที่มีอุณหภูมิเหมาะสม พร้อมกับควบคุมการสแกนลำแสงโมเลกุลไปพร้อมกันบนพื้นผิว ซึ่งจะทำให้โมเลกุลหรืออะตอมเรียงตัวเป็นชั้นในผลึกและก่อตัวเป็นฟิล์มบางบนพื้นผิวได้

ในการทำงานปกติของอุปกรณ์ MBE จำเป็นต้องมีการลำเลียงไนโตรเจนเหลวที่มีความบริสุทธิ์สูง ความดันต่ำ และสะอาดมากอย่างต่อเนื่องและเสถียรไปยังห้องทำความเย็นของอุปกรณ์ โดยทั่วไปแล้ว ถังเก็บไนโตรเจนเหลวจะมีแรงดันขาออกระหว่าง 0.3 MPa ถึง 0.8 MPa ไนโตรเจนเหลวที่อุณหภูมิ -196℃ จะระเหยกลายเป็นก๊าซได้ง่ายในระหว่างการลำเลียงผ่านท่อ เมื่อไนโตรเจนเหลวที่มีอัตราส่วนก๊าซต่อของเหลวประมาณ 1:700 ระเหยกลายเป็นก๊าซในท่อแล้ว จะไปเบียดบังพื้นที่การไหลของไนโตรเจนเหลวจำนวนมากและลดอัตราการไหลปกติที่ปลายท่อไนโตรเจนเหลว นอกจากนี้ ในถังเก็บไนโตรเจนเหลว อาจมีเศษสิ่งสกปรกที่ไม่ได้รับการทำความสะอาด และในท่อไนโตรเจนเหลว การมีอากาศชื้นจะนำไปสู่การเกิดตะกรันน้ำแข็ง หากสิ่งสกปรกเหล่านี้ถูกปล่อยเข้าไปในอุปกรณ์ จะทำให้เกิดความเสียหายที่ไม่สามารถคาดเดาได้ต่ออุปกรณ์

ดังนั้น ไนโตรเจนเหลวในถังเก็บกลางแจ้งจึงถูกลำเลียงไปยังอุปกรณ์ MBE ในโรงงานปลอดฝุ่นด้วยประสิทธิภาพสูง เสถียรภาพ และความสะอาด ภายใต้ความดันต่ำ ปราศจากไนโตรเจนและสิ่งเจือปน สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องตลอด 24 ชั่วโมง ระบบควบคุมการลำเลียงเช่นนี้ถือเป็นผลิตภัณฑ์ที่ได้มาตรฐาน

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

อุปกรณ์ MBE ที่เข้ากันได้

นับตั้งแต่ปี 2548 บริษัท HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ได้ทำการปรับปรุงและพัฒนาระบบนี้อย่างต่อเนื่อง พร้อมทั้งร่วมมือกับผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE ระดับนานาชาติ ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE เหล่านี้ รวมถึง DCA และ REBER ได้ร่วมมือกับบริษัทของเราในโครงการต่างๆ มากมาย

บริษัท Riber SA เป็นผู้ให้บริการชั้นนำระดับโลกด้านผลิตภัณฑ์และบริการที่เกี่ยวข้องกับการปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุล (Molecular Beam Epitaxy หรือ MBE) สำหรับงานวิจัยและงานอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำแบบผสม อุปกรณ์ MBE ของ Riber สามารถสร้างชั้นวัสดุที่บางมากบนพื้นผิวได้อย่างแม่นยำ อุปกรณ์สุญญากาศของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ติดตั้งอุปกรณ์ของ Riber SA โดยอุปกรณ์ที่ใหญ่ที่สุดคือ Riber 6000 และอุปกรณ์ที่เล็กที่สุดคือ Compact 21 อุปกรณ์ทั้งหมดอยู่ในสภาพดีและได้รับการยอมรับจากลูกค้า

DCA คือผู้นำระดับโลกด้านเทคโนโลยี MBE สำหรับออกไซด์ นับตั้งแต่ปี 1993 เป็นต้นมา บริษัทได้พัฒนาเทคนิคการออกซิเดชัน การให้ความร้อนแก่สารตั้งต้นต้านอนุมูลอิสระ และแหล่งกำเนิดสารต้านอนุมูลอิสระอย่างเป็นระบบ ด้วยเหตุนี้ ห้องปฏิบัติการชั้นนำหลายแห่งจึงเลือกใช้เทคโนโลยีออกไซด์ของ DCA ระบบ MBE สำหรับเซมิคอนดักเตอร์คอมโพสิตถูกนำไปใช้ทั่วโลก ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลว VJ ของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) และอุปกรณ์ MBE รุ่นต่างๆ ของ DCA มีประสบการณ์การใช้งานร่วมกันในโครงการมากมาย เช่น รุ่น P600, R450, SGC800 เป็นต้น

tcm (2)

ตารางผลการปฏิบัติงาน

สถาบันฟิสิกส์เทคนิคเซี่ยงไฮ้ สถาบันวิทยาศาสตร์แห่งประเทศจีน
สถาบันที่ 11 ของบริษัทเทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์แห่งประเทศจีน
สถาบันเซมิคอนดักเตอร์ สถาบันวิทยาศาสตร์แห่งประเทศจีน
หัวเว่ย
อาลีบาบา ดาโม อะคาเดมี่
บริษัท พาวเวอร์เทค เทคโนโลยี อิงค์
บริษัท เดลต้า อิเล็กทรอนิกส์ อิงค์
ซูโจว เอเวอร์ไบรท์ โฟโตนิกส์

วันที่เผยแพร่: 26 พฤษภาคม 2564