เทคโนโลยี
การปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุล หรือ MBE เป็นเทคนิคใหม่สำหรับการปลูกฟิล์มบางคุณภาพสูงของผลึกบนพื้นผิวผลึก ในสภาวะสุญญากาศสูงมาก โดยใช้เตาให้ความร้อนที่มีส่วนประกอบที่จำเป็นทั้งหมดและสร้างไอน้ำ จากนั้นจึงฉายลำแสงอะตอมหรือโมเลกุลที่ปรับลำแสงแล้วผ่านรูที่เกิดขึ้นไปยังพื้นผิวผลึกเดี่ยวที่มีอุณหภูมิเหมาะสม พร้อมกับควบคุมการสแกนลำแสงโมเลกุลไปพร้อมกันบนพื้นผิว ซึ่งจะทำให้โมเลกุลหรืออะตอมเรียงตัวเป็นชั้นในผลึกและก่อตัวเป็นฟิล์มบางบนพื้นผิวได้
ในการทำงานปกติของอุปกรณ์ MBE จำเป็นต้องมีการลำเลียงไนโตรเจนเหลวที่มีความบริสุทธิ์สูง ความดันต่ำ และสะอาดมากอย่างต่อเนื่องและเสถียรไปยังห้องทำความเย็นของอุปกรณ์ โดยทั่วไปแล้ว ถังเก็บไนโตรเจนเหลวจะมีแรงดันขาออกระหว่าง 0.3 MPa ถึง 0.8 MPa ไนโตรเจนเหลวที่อุณหภูมิ -196℃ จะระเหยกลายเป็นก๊าซได้ง่ายในระหว่างการลำเลียงผ่านท่อ เมื่อไนโตรเจนเหลวที่มีอัตราส่วนก๊าซต่อของเหลวประมาณ 1:700 ระเหยกลายเป็นก๊าซในท่อแล้ว จะไปเบียดบังพื้นที่การไหลของไนโตรเจนเหลวจำนวนมากและลดอัตราการไหลปกติที่ปลายท่อไนโตรเจนเหลว นอกจากนี้ ในถังเก็บไนโตรเจนเหลว อาจมีเศษสิ่งสกปรกที่ไม่ได้รับการทำความสะอาด และในท่อไนโตรเจนเหลว การมีอากาศชื้นจะนำไปสู่การเกิดตะกรันน้ำแข็ง หากสิ่งสกปรกเหล่านี้ถูกปล่อยเข้าไปในอุปกรณ์ จะทำให้เกิดความเสียหายที่ไม่สามารถคาดเดาได้ต่ออุปกรณ์
ดังนั้น ไนโตรเจนเหลวในถังเก็บกลางแจ้งจึงถูกลำเลียงไปยังอุปกรณ์ MBE ในโรงงานปลอดฝุ่นด้วยประสิทธิภาพสูง เสถียรภาพ และความสะอาด ภายใต้ความดันต่ำ ปราศจากไนโตรเจนและสิ่งเจือปน สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องตลอด 24 ชั่วโมง ระบบควบคุมการลำเลียงเช่นนี้ถือเป็นผลิตภัณฑ์ที่ได้มาตรฐาน
อุปกรณ์ MBE ที่เข้ากันได้
นับตั้งแต่ปี 2548 บริษัท HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ได้ทำการปรับปรุงและพัฒนาระบบนี้อย่างต่อเนื่อง พร้อมทั้งร่วมมือกับผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE ระดับนานาชาติ ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE เหล่านี้ รวมถึง DCA และ REBER ได้ร่วมมือกับบริษัทของเราในโครงการต่างๆ มากมาย
บริษัท Riber SA เป็นผู้ให้บริการชั้นนำระดับโลกด้านผลิตภัณฑ์และบริการที่เกี่ยวข้องกับการปลูกผลึกด้วยลำแสงโมเลกุล (Molecular Beam Epitaxy หรือ MBE) สำหรับงานวิจัยและงานอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำแบบผสม อุปกรณ์ MBE ของ Riber สามารถสร้างชั้นวัสดุที่บางมากบนพื้นผิวได้อย่างแม่นยำ อุปกรณ์สุญญากาศของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ติดตั้งอุปกรณ์ของ Riber SA โดยอุปกรณ์ที่ใหญ่ที่สุดคือ Riber 6000 และอุปกรณ์ที่เล็กที่สุดคือ Compact 21 อุปกรณ์ทั้งหมดอยู่ในสภาพดีและได้รับการยอมรับจากลูกค้า
DCA คือผู้นำระดับโลกด้านเทคโนโลยี MBE สำหรับออกไซด์ นับตั้งแต่ปี 1993 เป็นต้นมา บริษัทได้พัฒนาเทคนิคการออกซิเดชัน การให้ความร้อนแก่สารตั้งต้นต้านอนุมูลอิสระ และแหล่งกำเนิดสารต้านอนุมูลอิสระอย่างเป็นระบบ ด้วยเหตุนี้ ห้องปฏิบัติการชั้นนำหลายแห่งจึงเลือกใช้เทคโนโลยีออกไซด์ของ DCA ระบบ MBE สำหรับเซมิคอนดักเตอร์คอมโพสิตถูกนำไปใช้ทั่วโลก ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลว VJ ของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) และอุปกรณ์ MBE รุ่นต่างๆ ของ DCA มีประสบการณ์การใช้งานร่วมกันในโครงการมากมาย เช่น รุ่น P600, R450, SGC800 เป็นต้น
ตารางผลการปฏิบัติงาน
| สถาบันฟิสิกส์เทคนิคเซี่ยงไฮ้ สถาบันวิทยาศาสตร์แห่งประเทศจีน |
| สถาบันที่ 11 ของบริษัทเทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์แห่งประเทศจีน |
| สถาบันเซมิคอนดักเตอร์ สถาบันวิทยาศาสตร์แห่งประเทศจีน |
| หัวเว่ย |
| อาลีบาบา ดาโม อะคาเดมี่ |
| บริษัท พาวเวอร์เทค เทคโนโลยี อิงค์ |
| บริษัท เดลต้า อิเล็กทรอนิกส์ อิงค์ |
| ซูโจว เอเวอร์ไบรท์ โฟโตนิกส์ |
วันที่เผยแพร่: 26 พฤษภาคม 2564