โครงการ Chip MBE ที่เสร็จสมบูรณ์ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา

เทคโนโลยี

โมเลกุลาร์บีมเอพิแทกซี หรือ MBE เป็นเทคนิคใหม่สำหรับการปลูกฟิล์มบางคุณภาพสูงของผลึกบนพื้นผิวผลึก ในสภาวะสุญญากาศที่สูงมาก โดยเตาทำความร้อนจะติดตั้งส่วนประกอบที่จำเป็นทุกชนิดและสร้างไอน้ำ โดยผ่านรูที่เกิดขึ้นหลังจากการรวมลำแสงอะตอมหรือลำแสงโมเลกุล ฉีดโดยตรงไปยังอุณหภูมิที่เหมาะสมของพื้นผิวผลึกเดี่ยว โดยควบคุมลำแสงโมเลกุลไปยังพื้นผิวที่สแกนในเวลาเดียวกัน สามารถทำให้โมเลกุลหรืออะตอมในชั้นการเรียงตัวของผลึกสร้างฟิล์มบางบนพื้นผิว "การเจริญเติบโต"

สำหรับการทำงานปกติของอุปกรณ์ MBE จำเป็นต้องมีการขนส่งไนโตรเจนเหลวที่มีความบริสุทธิ์สูง แรงดันต่ำ และสะอาดเป็นพิเศษไปยังห้องทำความเย็นของอุปกรณ์อย่างต่อเนื่องและเสถียร โดยทั่วไป ถังที่จ่ายไนโตรเจนเหลวจะมีแรงดันเอาต์พุตระหว่าง 0.3MPa ถึง 0.8MPa ไนโตรเจนเหลวที่อุณหภูมิ -196℃ จะระเหยเป็นไนโตรเจนได้ง่ายในระหว่างการขนส่งทางท่อ เมื่อไนโตรเจนเหลวที่มีอัตราส่วนก๊าซต่อของเหลวประมาณ 1:700 ถูกทำให้เป็นก๊าซในท่อ ไนโตรเจนเหลวจะครอบครองพื้นที่การไหลของไนโตรเจนเหลวจำนวนมากและลดการไหลปกติที่ปลายท่อไนโตรเจนเหลว นอกจากนี้ ในถังเก็บไนโตรเจนเหลว อาจมีเศษซากที่ไม่ได้รับการทำความสะอาด ในท่อไนโตรเจนเหลว การมีอากาศชื้นยังทำให้เกิดตะกรันน้ำแข็งอีกด้วย หากสิ่งสกปรกเหล่านี้ถูกปล่อยลงในอุปกรณ์ จะทำให้เกิดความเสียหายต่ออุปกรณ์โดยไม่คาดคิด

ดังนั้นไนโตรเจนเหลวในถังเก็บกลางแจ้งจึงถูกขนส่งไปยังอุปกรณ์ MBE ในเวิร์กช็อปปลอดฝุ่นด้วยประสิทธิภาพสูง เสถียรภาพ และสะอาด และแรงดันต่ำ ไม่มีไนโตรเจน ไม่มีสิ่งเจือปน ไม่มีการหยุดชะงักตลอด 24 ชั่วโมง ระบบควบคุมการขนส่งดังกล่าวจึงเป็นผลิตภัณฑ์ที่มีคุณสมบัติเหมาะสม

แพทย์แผนจีน (4)
แพทย์แผนจีน (1)
แพทย์แผนจีน (3)

การจับคู่อุปกรณ์ MBE

ตั้งแต่ปี 2005 HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ได้ปรับปรุงและพัฒนาระบบนี้ให้เหมาะสมที่สุดและร่วมมือกับผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE ในระดับนานาชาติ ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE เช่น DCA และ REBER มีความสัมพันธ์ร่วมมือกับบริษัทของเรา ผู้ผลิตอุปกรณ์ MBE เช่น DCA และ REBER ได้ร่วมมือกันในโครงการต่างๆ มากมาย

Riber SA เป็นผู้ให้บริการผลิตภัณฑ์และบริการที่เกี่ยวข้องด้านการสร้างลำแสงโมเลกุล (MBE) ชั้นนำระดับโลกสำหรับการวิจัยสารกึ่งตัวนำและการใช้งานในอุตสาหกรรม อุปกรณ์ Riber MBE สามารถเคลือบวัสดุเป็นชั้นบาง ๆ บนพื้นผิวได้ โดยมีการควบคุมที่สูงมาก อุปกรณ์สูญญากาศของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ติดตั้ง Riber SA โดยอุปกรณ์ที่ใหญ่ที่สุดคือ Riber 6000 และขนาดเล็กที่สุดคือ Compact 21 อุปกรณ์นี้อยู่ในสภาพดีและได้รับการยอมรับจากลูกค้า

DCA คือ MBE ออกไซด์ชั้นนำของโลก ตั้งแต่ปี 1993 เป็นต้นมา ได้มีการพัฒนาอย่างเป็นระบบของเทคนิคการออกซิเดชัน การให้ความร้อนกับสารต้านอนุมูลอิสระ และแหล่งของสารต้านอนุมูลอิสระ ด้วยเหตุนี้ ห้องปฏิบัติการชั้นนำหลายแห่งจึงเลือกใช้เทคโนโลยีออกไซด์ DCA ระบบ MBE ของเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมถูกนำมาใช้ทั่วโลก ระบบหมุนเวียนไนโตรเจนเหลว VJ ของ HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) และอุปกรณ์ MBE ของ DCA หลายรุ่นมีประสบการณ์ที่ตรงกันในหลายโครงการ เช่น รุ่น P600, R450, SGC800 เป็นต้น

แพทย์แผนจีน (2)

ตารางแสดงผลงาน

สถาบันฟิสิกส์เทคนิคเซี่ยงไฮ้ สถาบันวิทยาศาสตร์จีน
สถาบันเทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์แห่งประเทศจีนแห่งที่ 11
สถาบันเซมิคอนดักเตอร์ สถาบันวิทยาศาสตร์จีน
หัวเว่ย
อาลีบาบา ดาโม อะคาเดมี
บริษัท พาวเวอร์เทค เทคโนโลยี อิงค์
บริษัท เดลต้า อีเลคโทรนิคส์ จำกัด
ซูโจว เอเวอร์ไบรท์ โฟโตนิกส์

เวลาโพสต์ : 26 พฤษภาคม 2564

ฝากข้อความของคุณ