อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ยังคงเติบโตอย่างต่อเนื่อง และความต้องการระบบกระจายความเย็นยิ่งเพิ่มสูงขึ้น โดยเฉพาะอย่างยิ่งไนโตรเจนเหลว ไม่ว่าจะเป็นการรักษาอุณหภูมิของเครื่องประมวลผลเวเฟอร์ การใช้งานเครื่องพิมพ์ลิโทกราฟี หรือการทดสอบขั้นสูง ระบบเหล่านี้จำเป็นต้องทำงานได้อย่างไร้ที่ติ ที่ HL Cryogenics เรามุ่งเน้นการออกแบบโซลูชันฉนวนสุญญากาศที่ทนทานและเชื่อถือได้ ซึ่งช่วยรักษาเสถียรภาพและประสิทธิภาพ โดยแทบไม่มีการสูญเสียความร้อนหรือการสั่นสะเทือน ผลิตภัณฑ์ของเรา—ท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศ, ท่ออ่อน, ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก, วาล์วฉนวน, และตัวแยกเฟส—โดยพื้นฐานแล้วเป็นโครงสร้างหลักของระบบท่อส่งของเหลวแช่แข็งสำหรับทุกอย่าง ตั้งแต่โรงงานผลิตชิปและห้องปฏิบัติการวิจัย ไปจนถึงอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ โรงพยาบาล และสถานีขนส่งก๊าซธรรมชาติเหลว (LNG)
ภายในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไนโตรเจนเหลว (LN₂) ไหลเวียนอย่างต่อเนื่อง เพื่อรักษาระดับอุณหภูมิให้คงที่สำหรับอุปกรณ์สำคัญ เช่น ระบบโฟโตลิโทกราฟี ปั๊มไครโอ ห้องพลาสมา และเครื่องทดสอบแรงกระแทก แม้แต่ความผิดพลาดเล็กน้อยในการจ่ายสารไครโอเจนิกก็อาจส่งผลกระทบต่อผลผลิต ความสม่ำเสมอ หรืออายุการใช้งานของอุปกรณ์ราคาแพงได้ นั่นคือจุดที่...ท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศด้วยคุณสมบัติเหล่านี้: เราใช้ฉนวนหลายชั้น สุญญากาศสูง และโครงสร้างรองรับที่แข็งแรงเพื่อลดการรั่วไหลของความร้อน ซึ่งหมายความว่าท่อจะรักษาสภาพภายในให้คงที่อย่างมั่นคง แม้ในขณะที่ความต้องการเพิ่มสูงขึ้น และอัตราการระเหยจะต่ำกว่าท่อฉนวนโฟมแบบเก่ามาก ด้วยการควบคุมสุญญากาศอย่างเข้มงวดและการจัดการความร้อนอย่างระมัดระวัง ท่อของเราจึงส่ง LN₂ ได้อย่างแม่นยำในเวลาและสถานที่ที่ต้องการ โดยไม่มีเรื่องเซอร์ไพรส์ใดๆ
บางครั้ง คุณอาจต้องการให้ระบบสามารถโค้งงอหรือยืดหยุ่นได้ เช่น บริเวณจุดเชื่อมต่อเครื่องมือ ในพื้นที่ที่ไวต่อการสั่นสะเทือน หรือในบริเวณที่อุปกรณ์เคลื่อนที่ไปมา นั่นคือสิ่งที่ผลิตภัณฑ์ของเราทำได้ท่ออ่อนหุ้มฉนวนสุญญากาศตัวอักษร e ย่อมาจาก... มันให้การป้องกันความร้อนแบบเดียวกัน แต่ช่วยให้คุณดัดงอและติดตั้งได้อย่างรวดเร็ว ด้วยสแตนเลสลูกฟูกขัดเงา ฉนวนสะท้อนความร้อน และปลอกหุ้มแบบสุญญากาศ ในห้องปลอดเชื้อ สายยางนี้ช่วยลดอนุภาค ป้องกันความชื้น และยึดแน่นแม้ว่าคุณจะปรับเปลี่ยนเครื่องมืออยู่ตลอดเวลา การจับคู่ท่อแข็งกับสายยางอ่อน ทำให้คุณได้ระบบที่ทั้งแข็งแรงและปรับเปลี่ยนได้
เพื่อให้ระบบเครือข่ายความเย็นยิ่งยวดทั้งหมดทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพสูงสุด เราจึงใช้...ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกระบบนี้จะคอยตรวจสอบระดับสุญญากาศและรักษาระดับให้คงที่ตลอดทั้งระบบ เมื่อเวลาผ่านไป ฉนวนสุญญากาศจะดูดซับก๊าซปริมาณเล็กน้อยจากวัสดุและรอยเชื่อม หากปล่อยปละละเลย ฉนวนจะเสื่อมสภาพ ความร้อนจะแทรกซึมเข้ามา และสุดท้ายคุณจะต้องใช้ไนโตรเจนเหลว (LN₂) มากขึ้น ระบบปั๊มของเราจะรักษาระดับสุญญากาศให้คงที่ ทำให้ฉนวนยังคงมีประสิทธิภาพและอุปกรณ์มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น ซึ่งเป็นเรื่องสำคัญอย่างยิ่งสำหรับโรงงานที่ทำงานตลอด 24 ชั่วโมง เพราะแม้แต่การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยก็อาจส่งผลกระทบต่อการผลิตได้
เพื่อการควบคุมการไหลที่แม่นยำ เครื่องดูดฝุ่นของเราวาล์วฉนวนเราออกแบบวาล์วเหล่านี้ด้วยค่าการนำความร้อนต่ำมาก ซีลที่แน่นหนาผ่านการทดสอบด้วยฮีเลียม และช่องทางการไหลที่ช่วยลดการไหลปั่นป่วนและการสูญเสียแรงดัน ตัววาล์วได้รับการหุ้มฉนวนอย่างสมบูรณ์ จึงไม่มีน้ำแข็งเกาะ และยังคงทำงานได้อย่างราบรื่นแม้จะเปิดและปิดอย่างรวดเร็ว ในพื้นที่ที่ละเอียดอ่อน เช่น การเติมเชื้อเพลิงในอวกาศหรือการบำบัดด้วยความเย็นทางการแพทย์ นั่นหมายถึงการปนเปื้อนเป็นศูนย์และไม่มีปัญหาเรื่องความชื้น
ฉนวนสุญญากาศของเราตัวแยกเฟสช่วยรักษาระดับความดันปลายทางให้คงที่และป้องกันการผันผวนของของเหลวและก๊าซ โดยจะควบคุมสมดุลของเฟสของ LN₂ ด้วยการระเหยอย่างเป็นระบบในห้องสุญญากาศ ทำให้มีเพียงของเหลวคุณภาพสูงเท่านั้นที่จะส่งไปยังอุปกรณ์ ในโรงงานผลิตชิป จะช่วยป้องกันการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่อาจส่งผลต่อการจัดเรียงเวเฟอร์หรือการกัดเซาะ ในห้องปฏิบัติการ จะช่วยให้การทดลองมีความสม่ำเสมอ และที่สถานีขนถ่าย LNG จะช่วยเพิ่มความปลอดภัยโดยลดการระเหยที่ไม่พึงประสงค์
โดยการนำมารวมกันท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศ-ท่ออ่อน-ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก-วาล์วฉนวน, และตัวแยกเฟสHL Cryogenics ผสานรวมระบบเดียวเข้าไว้ด้วยกัน ทำให้คุณได้ชุดอุปกรณ์ถ่ายโอนความเย็นจัดที่ทนทาน ประหยัดพลังงาน และเชื่อถือได้ ระบบเหล่านี้ช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานโดยลดการสูญเสียไนโตรเจนเหลว ปรับปรุงความปลอดภัยโดยป้องกันการควบแน่นภายนอก และให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอ แม้ในสภาวะที่มีแรงดันสูง
วันที่เผยแพร่: 19 พฤศจิกายน 2025
