ระบบ VIP ของ HL Cryogenics สำหรับการถ่ายโอนเซมิคอนดักเตอร์แบบไครโอเจนิกส์

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ไม่ได้ชะลอตัวลง และเมื่ออุตสาหกรรมเติบโตขึ้น ความต้องการระบบจำหน่ายแบบไครโอเจนิกก็ยังคงเพิ่มสูงขึ้นเรื่อยๆ โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อเกี่ยวข้องกับไนโตรเจนเหลว ไม่ว่าจะเป็นการรักษาอุณหภูมิของตัวประมวลผลเวเฟอร์ การทำงานของเครื่องลิโธกราฟี หรือการจัดการการทดสอบขั้นสูง ระบบเหล่านี้จำเป็นต้องทำงานได้อย่างไม่มีที่ติ ที่ HL Cryogenics เรามุ่งเน้นการออกแบบโซลูชันฉนวนสุญญากาศที่แข็งแกร่งและเชื่อถือได้ ซึ่งช่วยรักษาเสถียรภาพและประสิทธิภาพ โดยแทบไม่มีการสูญเสียความร้อนหรือการสั่นสะเทือน ผลิตภัณฑ์ของเรา—ท่อฉนวนสุญญากาศ, ท่ออ่อน, ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก, วาล์วหุ้มฉนวน, และตัวแยกเฟส—โดยพื้นฐานแล้วเป็นกระดูกสันหลังของท่อไครโอเจนิกสำหรับทุกสิ่งตั้งแต่โรงงานผลิตชิปและห้องปฏิบัติการวิจัยไปจนถึงอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ โรงพยาบาล และสถานี LNG

ภายในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไนโตรเจนเหลว (LN₂) ทำงานอย่างต่อเนื่อง ช่วยรักษาอุณหภูมิให้คงที่สำหรับเครื่องมือสำคัญๆ เช่น ระบบโฟโตลิโทกราฟี ปั๊มไครโอ ห้องพลาสมา และเครื่องทดสอบแรงกระแทก แม้แต่การสะดุดเพียงเล็กน้อยในแหล่งจ่ายไครโอเจนิกก็อาจส่งผลต่อผลผลิต ความสม่ำเสมอ หรืออายุการใช้งานของอุปกรณ์ราคาแพงได้ นั่นคือจุดที่ท่อฉนวนสุญญากาศมีให้เลือก: เราใช้ฉนวนหลายชั้น สุญญากาศลึก และฐานรองรับที่แข็งแรงเพื่อลดการรั่วไหลของความร้อน ซึ่งหมายความว่าท่อจะรักษาสภาพภายในให้แข็งแรงทนทาน แม้ในช่วงที่ความต้องการใช้ไฟฟ้าพุ่งสูง และอัตราการเดือดออกยังคงต่ำกว่าท่อฉนวนโฟมแบบเดิมมาก ด้วยการควบคุมสุญญากาศที่เข้มงวดและการจัดการความร้อนอย่างพิถีพิถัน ท่อของเราจึงสามารถจ่าย LN₂ ได้อย่างแม่นยำในเวลาและที่ที่ต้องการ โดยไม่น่าแปลกใจ

บางครั้ง คุณอาจจำเป็นต้องให้ระบบโค้งงอหรือยืดหยุ่นได้ เช่น ในบริเวณที่ต่อเครื่องมือ ในบริเวณที่ไวต่อการสั่นสะเทือน หรือบริเวณที่อุปกรณ์เคลื่อนที่ไปมา นั่นคือสิ่งที่ท่ออ่อนแบบมีฉนวนสุญญากาศe ย่อมาจาก ให้การป้องกันความร้อนเหมือนกัน แต่สามารถดัดงอและติดตั้งได้อย่างรวดเร็ว ด้วยสเตนเลสสตีลลูกฟูกขัดเงา ฉนวนสะท้อนแสง และปลอกหุ้มสุญญากาศ ในห้องคลีนรูม ท่อนี้ช่วยป้องกันอนุภาค ป้องกันความชื้น และคงสภาพแม้ต้องเปลี่ยนเครื่องมืออยู่ตลอดเวลา การผสมผสานท่อแข็งเข้ากับท่ออ่อน ช่วยให้คุณได้ระบบที่ทั้งแข็งแรงและยืดหยุ่น

วาล์วฉนวนสุญญากาศ
ตัวแยกเฟส

เพื่อให้เครือข่ายไครโอเจนิกทั้งหมดทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพสูงสุด เราใช้ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกระบบจะคอยตรวจสอบระดับสุญญากาศและรักษาระดับสุญญากาศไว้ตลอดการติดตั้ง เมื่อเวลาผ่านไป ฉนวนสุญญากาศจะจับกับก๊าซร่องรอยจากวัสดุและรอยเชื่อมตามธรรมชาติ หากปล่อยไว้นานเกินไป ฉนวนจะเสื่อมสภาพ ความร้อนจะแทรกซึมเข้ามา และสุดท้ายก็จะเผาไหม้ LN₂ มากขึ้น ระบบปั๊มของเรารักษาสุญญากาศให้แข็งแรง เพื่อให้ฉนวนยังคงประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของเครื่องจักรยาวนานขึ้น ซึ่งถือเป็นเรื่องสำคัญอย่างยิ่งสำหรับโรงงานที่ทำงานตลอด 24 ชั่วโมง ซึ่งแม้แต่การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยก็อาจส่งผลกระทบต่อการผลิตได้

เพื่อการควบคุมการไหลที่แม่นยำ สูญญากาศของเราวาล์วหุ้มฉนวนs เข้ามา เราออกแบบให้มีค่าการนำความร้อนต่ำเป็นพิเศษ ซีลที่ผ่านการทดสอบฮีเลียมอย่างแน่นหนา และช่องทางการไหลที่ช่วยลดความปั่นป่วนและการสูญเสียแรงดัน ตัววาล์วได้รับการหุ้มฉนวนอย่างมิดชิด จึงไม่มีน้ำแข็งเกาะ และทำงานได้อย่างราบรื่นแม้ในขณะที่เปิดและปิดอย่างรวดเร็ว ในพื้นที่ที่มีความอ่อนไหวสูง เช่น การเติมเชื้อเพลิงอากาศยาน หรือการบำบัดด้วยความเย็นทางการแพทย์ หมายความว่าไม่มีการปนเปื้อนและไม่มีปัญหาเรื่องความชื้น

ฉนวนสุญญากาศของเราตัวแยกเฟสรักษาความดันปลายน้ำให้คงที่และป้องกันความผันผวนของของเหลวและก๊าซ กลไกนี้ช่วยจัดการสมดุลเฟสของ LN₂ ด้วยการอนุญาตให้ระเหยอย่างควบคุมได้ในห้องสุญญากาศที่มีฉนวน จึงมีเพียงของเหลวคุณภาพสูงเท่านั้นที่จะไปถึงอุปกรณ์ ในโรงงานผลิตชิป กลไกนี้ช่วยป้องกันการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิที่อาจส่งผลต่อการจัดเรียงหรือการกัดของเวเฟอร์ ในห้องปฏิบัติการ กลไกนี้ช่วยให้การทดลองมีความสม่ำเสมอ ส่วนในสถานี LNG กลไกนี้ช่วยเพิ่มความปลอดภัยโดยลดการเดือดที่ไม่พึงประสงค์

โดยการนำเอาท่อฉนวนสุญญากาศ-ท่ออ่อน-ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก-วาล์วหุ้มฉนวน, และตัวแยกเฟสHL Cryogenics เป็นระบบเดียวที่มอบระบบถ่ายโอนความเย็นที่ทนทาน ประหยัดพลังงาน และเชื่อถือได้ ระบบเหล่านี้ช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานด้วยการลดการสูญเสียไนโตรเจนเหลว เพิ่มความปลอดภัยด้วยการป้องกันการควบแน่นจากภายนอก และมอบประสิทธิภาพที่คงที่ แม้ในขณะที่มีแรงดัน

ท่อฉนวนสุญญากาศ
ท่ออ่อนแบบสุญญากาศ

เวลาโพสต์: 19 พ.ย. 2568