บทสรุปของระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศในการใช้งานไครโอเจนิกของอุตสาหกรรมชิป

การผลิตและการออกแบบระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศสำหรับการลำเลียงไนโตรเจนเหลวเป็นความรับผิดชอบของซัพพลายเออร์สำหรับโปรเจ็กต์นี้ หากซัพพลายเออร์ไม่มีเงื่อนไขในการวัด ณ สถานที่ ที่บ้านจะต้องจัดเตรียมแบบร่างทิศทางท่อให้จากนั้นซัพพลายเออร์จะออกแบบระบบท่อ VI สำหรับสถานการณ์ไนโตรเจนเหลว

ซัพพลายเออร์จะต้องออกแบบระบบท่อโดยรวมให้เสร็จสมบูรณ์โดยนักออกแบบที่มีประสบการณ์ตามแบบ พารามิเตอร์ของอุปกรณ์ สภาพของสถานที่ คุณลักษณะของไนโตรเจนเหลว และปัจจัยอื่น ๆ ที่ผู้เรียกร้องจัดเตรียมไว้

เนื้อหาของการออกแบบประกอบด้วยประเภทของอุปกรณ์เสริมของระบบ การกำหนดวัสดุและข้อกำหนดเฉพาะของท่อภายในและภายนอก การออกแบบโครงร่างฉนวน โครงร่างส่วนสำเร็จรูป แบบฟอร์มการเชื่อมต่อระหว่างส่วนท่อ ตัวยึดท่อภายใน จำนวนและตำแหน่งของวาล์วสุญญากาศ การกำจัดซีลแก๊ส ข้อกำหนดของเหลวแช่แข็งของอุปกรณ์ปลายทาง ฯลฯ โครงการนี้ควรได้รับการตรวจสอบโดยบุคลากรมืออาชีพของผู้เรียกร้องก่อนการผลิต

เนื้อหาของการออกแบบระบบท่อฉนวนสุญญากาศนั้นครอบคลุมถึงแอปพลิเคชัน HASS และอุปกรณ์ MBE ในปัญหาทั่วไปบางประการ เพียงพูดคุยง่ายๆ

1 2

ท่อ VI

ถังเก็บไนโตรเจนเหลวมักจะยาวจากอุปกรณ์ HASS Application หรือ MBEในขณะที่ท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศเข้าสู่อาคารภายในอาคาร จำเป็นต้องหลีกเลี่ยงอย่างสมเหตุสมผลตามแผนผังห้องในอาคารและตำแหน่งของท่อสนามและท่ออากาศดังนั้นการลำเลียงไนโตรเจนเหลวไปยังอุปกรณ์โดยใช้ท่ออย่างน้อยหลายร้อยเมตร

เนื่องจากไนโตรเจนเหลวที่ถูกอัดนั้นประกอบด้วยก๊าซจำนวนมาก ประกอบกับระยะทางในการขนส่ง แม้แต่ท่ออะเดียแบติกสุญญากาศก็ยังผลิตไนโตรเจนจำนวนมากในกระบวนการขนส่งหากไนโตรเจนไม่ถูกปล่อยออกมาหรือการปล่อยก๊าซต่ำเกินไปที่จะเป็นไปตามข้อกำหนด จะทำให้เกิดความต้านทานต่อก๊าซและทำให้ไนโตรเจนเหลวไหลได้ไม่ดี ส่งผลให้อัตราการไหลลดลงอย่างมาก

หากอัตราการไหลไม่เพียงพอ อุณหภูมิในห้องไนโตรเจนเหลวของอุปกรณ์จะไม่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ซึ่งในที่สุดอาจทำให้อุปกรณ์หรือคุณภาพของผลิตภัณฑ์เสียหายได้

ดังนั้นจึงจำเป็นต้องคำนวณปริมาณไนโตรเจนเหลวที่ใช้โดยอุปกรณ์ปลายทาง (อุปกรณ์ HASS Application หรือ MBE)ในขณะเดียวกัน ข้อกำหนดของท่อจะถูกกำหนดตามความยาวและทิศทางของท่อด้วย

เริ่มต้นจากถังเก็บไนโตรเจนเหลว หากท่อหลักของท่อ/สายยางหุ้มฉนวนสุญญากาศคือ DN50 (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน φ50 มม.) ท่อ/สายยาง VI สาขาคือ DN25 (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน φ25 มม.) และท่อระหว่างท่อแยกและ อุปกรณ์ปลายทางคือ DN15 (เส้นผ่านศูนย์กลางรูใน φ15มม.)อุปกรณ์อื่นๆ สำหรับระบบท่อ VI ได้แก่ ตัวแยกเฟส, เครื่องไล่ก๊าซ, ช่องระบายแก๊สอัตโนมัติ, วาล์วปิดระบบ VI/ไครโอเจนิก (นิวแมติก), วาล์วควบคุมการไหลด้วยลม VI, เช็ควาล์ว VI/ไครโอเจนิก, ตัวกรอง VI, วาล์วระบายนิรภัย, ระบบไล่อากาศ, และปั๊มสุญญากาศ เป็นต้น

3

MBE เครื่องแยกเฟสพิเศษ

เครื่องแยกเฟสแรงดันปกติพิเศษของ MBE แต่ละตัวมีฟังก์ชันดังต่อไปนี้:

1. เซ็นเซอร์วัดระดับของเหลวและระบบควบคุมระดับของเหลวอัตโนมัติและแสดงผลผ่านกล่องควบคุมไฟฟ้าทันที

2. ฟังก์ชั่นลดแรงดัน: ช่องทางเข้าของเหลวของเครื่องแยกมีระบบเสริมตัวแยกซึ่งรับประกันแรงดันไนโตรเจนเหลวที่ 3-4 บาร์ในท่อหลักเมื่อเข้าสู่เครื่องแยกเฟส ให้ลดความดันลงอย่างต่อเนื่องเป็น ≤ 1Bar

3. การควบคุมการไหลของของเหลวเข้า: ระบบควบคุมการลอยตัวถูกจัดอยู่ภายในตัวแยกเฟสหน้าที่ของมันคือปรับปริมาณของเหลวที่เข้ามาโดยอัตโนมัติเมื่อการใช้ไนโตรเจนเหลวเพิ่มขึ้นหรือลดลงมีข้อได้เปรียบในการลดความผันผวนของความดันที่เกิดจากการป้อนไนโตรเจนเหลวจำนวนมากเมื่อเปิดวาล์วนิวแมติกทางเข้าและป้องกันแรงดันเกิน

4. ฟังก์ชั่นบัฟเฟอร์ ปริมาตรที่มีประสิทธิภาพภายในตัวแยกรับประกันการไหลสูงสุดของอุปกรณ์ทันที

5. ระบบล้าง: การไหลของอากาศและไอน้ำในตัวแยกก่อนผ่านไนโตรเจนเหลว และการปล่อยไนโตรเจนเหลวในตัวแยกหลังจากผ่านไนโตรเจนเหลว

6. ฟังก์ชั่นบรรเทาแรงดันเกินอัตโนมัติ: อุปกรณ์เมื่อเริ่มแรกผ่านไนโตรเจนเหลวหรือภายใต้สถานการณ์พิเศษ จะนำไปสู่การเพิ่มการเกิดก๊าซไนโตรเจนเหลว ซึ่งนำไปสู่แรงดันเกินทันทีของทั้งระบบเครื่องแยกเฟสของเราติดตั้ง Safety Relief Valve และ Safety Relief Valve Group ซึ่งสามารถรับประกันความเสถียรของแรงดันในตัวแยกได้อย่างมีประสิทธิภาพยิ่งขึ้น และป้องกันไม่ให้อุปกรณ์ MBE ได้รับความเสียหายจากแรงดันที่มากเกินไป

7. กล่องควบคุมไฟฟ้า การแสดงระดับของเหลวและค่าความดันแบบเรียลไทม์ สามารถตั้งค่าระดับของเหลวในตัวแยกและไนโตรเจนเหลวเป็นปริมาณความสัมพันธ์ในการควบคุมในเวลาเดียวกัน.ในกรณีฉุกเฉิน ให้เบรกตัวแยกก๊าซเหลวแบบแมนนวลเข้าไปในวาล์วควบคุมของเหลว เพื่อให้บุคลากรในสถานที่และอุปกรณ์มีความปลอดภัยในการรับประกัน

4

เครื่องไล่แก๊สแบบมัลติคอร์สำหรับแอปพลิเคชัน HASS

ถังเก็บไนโตรเจนเหลวกลางแจ้งประกอบด้วยไนโตรเจนจำนวนมากเนื่องจากถูกจัดเก็บและขนส่งภายใต้ความกดดันในระบบนี้ระยะทางในการขนส่งทางท่อจะยาวขึ้น มีข้อศอกมากขึ้น และมีความต้านทานมากขึ้น ซึ่งจะทำให้เกิดการแปรสภาพเป็นแก๊สของไนโตรเจนเหลวบางส่วนท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศเป็นวิธีที่ดีที่สุดในการขนส่งไนโตรเจนเหลวในปัจจุบัน แต่ความร้อนรั่วไหลเป็นสิ่งที่หลีกเลี่ยงไม่ได้ ซึ่งจะนำไปสู่การแปรสภาพเป็นแก๊สบางส่วนของไนโตรเจนเหลวด้วยโดยสรุป ไนโตรเจนเหลวประกอบด้วยไนโตรเจนจำนวนมาก ทำให้เกิดความต้านทานต่อก๊าซ ส่งผลให้ไนโตรเจนเหลวไหลไม่ราบรื่น

อุปกรณ์ไอเสียบนท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศ หากไม่มีอุปกรณ์ไอเสียหรือมีปริมาณไอเสียไม่เพียงพอ จะทำให้เกิดความต้านทานต่อก๊าซเมื่อเกิดความต้านทานต่อก๊าซ ความสามารถในการลำเลียงไนโตรเจนเหลวจะลดลงอย่างมาก

เครื่องไล่แก๊สแบบมัลติคอร์ที่ออกแบบโดยบริษัทของเราโดยเฉพาะสามารถรับประกันไนโตรเจนที่ปล่อยออกมาจากท่อไนโตรเจนเหลวหลักในระดับสูงสุด และป้องกันการก่อตัวของความต้านทานต่อก๊าซและ Multi-core Degasser มีปริมาตรภายในเพียงพอ สามารถเล่นบทบาทของถังเก็บบัฟเฟอร์ สามารถตอบสนองความต้องการของไปป์ไลน์โซลูชันที่ไหลสูงสุดทันทีอย่างมีประสิทธิภาพ

โครงสร้างมัลติคอร์ที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเฉพาะ ความจุไอเสียที่มีประสิทธิภาพมากกว่าเครื่องแยกประเภทอื่นๆ ของเรา

5
ต่อจากบทความที่แล้ว มีประเด็นบางอย่างที่ต้องพิจารณาเมื่อออกแบบโซลูชันสำหรับระบบท่อฉนวนสุญญากาศสำหรับการใช้งานแบบแช่แข็งในอุตสาหกรรมชิป

1

ระบบท่อฉนวนสุญญากาศสองประเภท

ระบบท่อฉนวนสุญญากาศมีสองประเภท: ระบบ VI แบบคงที่ และระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก

ระบบ Static VI หมายความว่าหลังจากสร้างท่อแต่ละท่อในโรงงานแล้ว ท่อจะถูกดูดจนถึงระดับสุญญากาศที่ระบุบนชุดปั๊มและปิดผนึกในการติดตั้งและใช้งานภาคสนาม ไม่จำเป็นต้องอพยพไปยังไซต์งานอีกในช่วงระยะเวลาหนึ่ง

ข้อดีของระบบ Static VI คือค่าบำรุงรักษาต่ำเมื่อระบบท่อใช้งานได้แล้ว จำเป็นต้องมีการบำรุงรักษาในอีกหลายปีต่อมาระบบสุญญากาศนี้เหมาะสำหรับระบบที่ไม่ต้องการการระบายความร้อนสูงและบริเวณเปิดสำหรับการบำรุงรักษานอกสถานที่

ข้อเสียของระบบ Static VI คือ สุญญากาศลดลงตามเวลาเนื่องจากวัสดุทุกชนิดจะปล่อยก๊าซติดตามอยู่ตลอดเวลา ซึ่งถูกกำหนดโดยคุณสมบัติทางกายภาพของวัสดุวัสดุในปลอกหุ้มของท่อ VI สามารถลดปริมาณก๊าซที่ปล่อยออกมาจากกระบวนการได้ แต่ไม่สามารถแยกออกได้ทั้งหมดนี้จะนำไปสู่สุญญากาศของสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ปิดสนิท จะลดลง ท่อฉนวนสุญญากาศจะค่อยๆ ลดความสามารถในการทำความเย็น

Dynamic Vacuum Pumping System หมายถึง หลังจากสร้างและขึ้นรูปท่อแล้ว ท่อยังคงอพยพออกจากโรงงานตามกระบวนการตรวจจับรอยรั่ว แต่ไม่มีการปิดผนึกสูญญากาศก่อนส่งมอบหลังจากการติดตั้งภาคสนามเสร็จสิ้นแล้ว ชั้นสุญญากาศของท่อทั้งหมดจะต้องเชื่อมต่อเป็นหนึ่งหน่วยขึ้นไปโดยใช้ท่อสแตนเลส และต้องใช้ปั๊มสุญญากาศขนาดเล็กเฉพาะเพื่อดูดฝุ่นท่อในสนามปั๊มสุญญากาศแบบพิเศษมีระบบอัตโนมัติตรวจสอบสุญญากาศได้ตลอดเวลาและสุญญากาศตามต้องการระบบทำงานตลอด 24 ชั่วโมง

ข้อเสียของระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกคือต้องบำรุงรักษาสุญญากาศด้วยไฟฟ้า

ข้อดีของระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกคือระดับสุญญากาศมีความเสถียรมากมีการใช้เป็นพิเศษในสภาพแวดล้อมภายในอาคารและข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพสุญญากาศของโครงการที่สูงมาก

ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกของเรา ปั๊มสุญญากาศพิเศษแบบรวมมือถือทั้งหมดเพื่อให้แน่ใจว่าอุปกรณ์ในการดูดฝุ่น รูปแบบที่สะดวกและสมเหตุสมผลเพื่อให้มั่นใจถึงผลของสุญญากาศ คุณภาพของอุปกรณ์เสริมสุญญากาศเพื่อให้มั่นใจในคุณภาพของสุญญากาศ

สำหรับโครงการ MBE เนื่องจากอุปกรณ์อยู่ในห้องคลีนรูมและอุปกรณ์ทำงานเป็นเวลานานระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศส่วนใหญ่อยู่ในพื้นที่ปิดบนชั้นระหว่างห้องคลีนรูมเป็นไปไม่ได้ที่จะดำเนินการบำรุงรักษาสุญญากาศของระบบท่อในอนาคตซึ่งจะมีผลกระทบร้ายแรงต่อการทำงานของระบบในระยะยาวด้วยเหตุนี้ โครงการ MBE จึงใช้ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกเกือบทั้งหมด

2

ระบบระบายความดัน

ระบบระบายแรงดันของสายหลักใช้กลุ่ม Safety Relief Valveกลุ่มวาล์วนิรภัยใช้เป็นระบบป้องกันความปลอดภัยเมื่อมีแรงดันเกิน ท่อ VI ไม่สามารถปรับได้ในการใช้งานปกติ

วาล์วระบายความปลอดภัยเป็นส่วนประกอบสำคัญเพื่อให้แน่ใจว่าระบบท่อจะไม่เกิดแรงดันเกิน การทำงานที่ปลอดภัย ดังนั้นจึงจำเป็นอย่างยิ่งในการทำงานของท่อแต่วาล์วนิรภัยตามระเบียบต้องส่งตรวจทุกปีเมื่อใช้เซฟตี้วาล์วอันหนึ่งและอีกอันเตรียมไว้ เมื่อถอดเซฟตี้วาล์วอันหนึ่งออก เซฟตี้วาล์วอีกอันจะยังอยู่ในระบบท่อเพื่อให้แน่ใจว่าท่อทำงานได้ตามปกติ

กลุ่มวาล์วระบายความปลอดภัยประกอบด้วยวาล์วระบายความปลอดภัย DN15 สองตัว ตัวแรกสำหรับใช้งานและอีกตัวหนึ่งสำหรับสแตนด์บายในการทำงานปกติ จะมีวาล์วระบายนิรภัยเพียงตัวเดียวเท่านั้นที่เชื่อมต่อกับระบบท่อ VI และทำงานตามปกติวาล์วระบายความปลอดภัยอื่นๆ จะถูกตัดการเชื่อมต่อจากท่อด้านในและสามารถเปลี่ยนได้ตลอดเวลาวาล์วนิรภัยทั้งสองเชื่อมต่อและตัดผ่านสถานะสวิตช์วาล์วด้านข้าง

กลุ่ม Safety Relief Valve Group มีเกจวัดแรงดันเพื่อตรวจสอบแรงดันของระบบท่อตลอดเวลา

กลุ่มวาล์วระบายความปลอดภัยมีวาล์วระบายให้มาด้วยสามารถใช้เพื่อระบายอากาศในท่อเมื่อทำการล้าง และไนโตรเจนสามารถระบายออกได้เมื่อระบบไนโตรเจนเหลวทำงาน

ดาว์

อุปกรณ์ HL Cryogenic

HL Cryogenic Equipment ซึ่งก่อตั้งขึ้นในปี 1992 เป็นแบรนด์ในเครือของ Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company ในประเทศจีนอุปกรณ์ HL Cryogenic มุ่งมั่นที่จะออกแบบและผลิตระบบท่อไครโอเจนิกหุ้มฉนวนสุญญากาศสูงและอุปกรณ์สนับสนุนที่เกี่ยวข้อง

ในโลกที่เปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็วในปัจจุบัน การจัดหาเทคโนโลยีขั้นสูงไปพร้อมกับการประหยัดต้นทุนให้กับลูกค้าสูงสุดถือเป็นงานที่ท้าทายเป็นเวลา 30 ปีแล้วที่ HL Cryogenic Equipment Company ในอุปกรณ์และอุตสาหกรรมไครโอเจนิกส์เกือบทั้งหมดมีความลึกซึ้งในการประยุกต์ใช้งาน ได้สั่งสมประสบการณ์มากมายและความน่าเชื่อถือ ตลอดจนสำรวจและมุ่งมั่นอย่างต่อเนื่องเพื่อให้ทันกับการพัฒนาล่าสุดในทุกสาขาอาชีพ โดยให้บริการลูกค้าด้วย โซลูชั่นใหม่ในทางปฏิบัติและมีประสิทธิภาพทำให้ลูกค้าของเราสามารถแข่งขันในตลาดได้มากขึ้น

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


เวลาโพสต์: 25 ส.ค.-2021