บทสรุปของระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศในการใช้งานไครโอเจนิกของอุตสาหกรรมชิป

การผลิตและการออกแบบระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศสำหรับการลำเลียงไนโตรเจนเหลวเป็นความรับผิดชอบของซัพพลายเออร์ สำหรับโปรเจ็กต์นี้ หากซัพพลายเออร์ไม่มีเงื่อนไขในการวัด ณ สถานที่ ที่บ้านจะต้องจัดเตรียมแบบร่างทิศทางท่อให้ จากนั้นซัพพลายเออร์จะออกแบบระบบท่อ VI สำหรับสถานการณ์ไนโตรเจนเหลว

ซัพพลายเออร์จะต้องออกแบบระบบท่อโดยรวมให้เสร็จสมบูรณ์โดยนักออกแบบที่มีประสบการณ์ตามแบบ พารามิเตอร์ของอุปกรณ์ สภาพของสถานที่ คุณลักษณะของไนโตรเจนเหลว และปัจจัยอื่น ๆ ที่ผู้เรียกร้องจัดเตรียมไว้

เนื้อหาของการออกแบบประกอบด้วยประเภทของอุปกรณ์เสริมของระบบ การกำหนดวัสดุและข้อกำหนดเฉพาะของท่อภายในและภายนอก การออกแบบโครงร่างฉนวน โครงร่างส่วนสำเร็จรูป แบบฟอร์มการเชื่อมต่อระหว่างส่วนท่อ ตัวยึดท่อภายใน จำนวนและตำแหน่งของวาล์วสุญญากาศ การกำจัดซีลแก๊ส ข้อกำหนดของเหลวแช่แข็งของอุปกรณ์ปลายทาง ฯลฯ โครงการนี้ควรได้รับการตรวจสอบโดยบุคลากรมืออาชีพของผู้เรียกร้องก่อนการผลิต

เนื้อหาของการออกแบบระบบท่อฉนวนสุญญากาศนั้นครอบคลุมถึงแอปพลิเคชัน HASS และอุปกรณ์ MBE ในปัญหาทั่วไปบางประการ เพียงพูดคุยง่ายๆ

1 2

ท่อ VI

ถังเก็บไนโตรเจนเหลวมักจะยาวจากอุปกรณ์ HASS Application หรือ MBE ในขณะที่ท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศเข้าสู่อาคารภายในอาคาร จำเป็นต้องหลีกเลี่ยงอย่างสมเหตุสมผลตามแผนผังห้องในอาคารและตำแหน่งของท่อสนามและท่ออากาศ ดังนั้นการลำเลียงไนโตรเจนเหลวไปยังอุปกรณ์โดยใช้ท่ออย่างน้อยหลายร้อยเมตร

เนื่องจากไนโตรเจนเหลวที่ถูกอัดนั้นประกอบด้วยก๊าซจำนวนมาก ประกอบกับระยะทางในการขนส่ง แม้แต่ท่ออะเดียแบติกสุญญากาศก็ยังผลิตไนโตรเจนจำนวนมากในกระบวนการขนส่ง หากไนโตรเจนไม่ถูกปล่อยออกมาหรือการปล่อยก๊าซต่ำเกินไปที่จะเป็นไปตามข้อกำหนด จะทำให้เกิดความต้านทานต่อก๊าซและทำให้ไนโตรเจนเหลวไหลได้ไม่ดี ส่งผลให้อัตราการไหลลดลงอย่างมาก

หากอัตราการไหลไม่เพียงพอ อุณหภูมิในห้องไนโตรเจนเหลวของอุปกรณ์จะไม่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ซึ่งในที่สุดอาจทำให้อุปกรณ์หรือคุณภาพของผลิตภัณฑ์เสียหายได้

ดังนั้นจึงจำเป็นต้องคำนวณปริมาณไนโตรเจนเหลวที่ใช้โดยอุปกรณ์ปลายทาง (อุปกรณ์ HASS Application หรือ MBE) ในขณะเดียวกัน ข้อกำหนดของท่อจะถูกกำหนดตามความยาวและทิศทางของท่อด้วย

เริ่มต้นจากถังเก็บไนโตรเจนเหลว หากท่อหลักของท่อ/สายยางหุ้มฉนวนสุญญากาศคือ DN50 (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน φ50 มม.) ท่อ/สายยาง VI สาขาคือ DN25 (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน φ25 มม.) และท่อระหว่างท่อแยกและ อุปกรณ์ปลายทางคือ DN15 (เส้นผ่านศูนย์กลางรูใน φ15มม.) อุปกรณ์อื่นๆ สำหรับระบบท่อ VI ได้แก่ ตัวแยกเฟส, เครื่องไล่ก๊าซ, ช่องระบายแก๊สอัตโนมัติ, วาล์วปิดระบบ VI/ไครโอเจนิก (นิวแมติก), วาล์วควบคุมการไหลด้วยลม VI, เช็ควาล์ว VI/ไครโอเจนิก, ตัวกรอง VI, วาล์วระบายนิรภัย, ระบบไล่อากาศ, และปั๊มสุญญากาศ เป็นต้น

3

MBE เครื่องแยกเฟสพิเศษ

เครื่องแยกเฟสแรงดันปกติพิเศษของ MBE แต่ละตัวมีฟังก์ชันดังต่อไปนี้:

1. เซ็นเซอร์วัดระดับของเหลวและระบบควบคุมระดับของเหลวอัตโนมัติและแสดงผลผ่านกล่องควบคุมไฟฟ้าทันที

2. ฟังก์ชั่นลดแรงดัน: ช่องทางเข้าของเหลวของเครื่องแยกมีระบบเสริมตัวแยกซึ่งรับประกันแรงดันไนโตรเจนเหลวที่ 3-4 บาร์ในท่อหลัก เมื่อเข้าสู่เครื่องแยกเฟส ให้ลดความดันลงอย่างต่อเนื่องเป็น ≤ 1Bar

3. การควบคุมการไหลของของเหลวเข้า: ระบบควบคุมการลอยตัวถูกจัดอยู่ภายในตัวแยกเฟส หน้าที่ของมันคือปรับปริมาณของเหลวที่เข้ามาโดยอัตโนมัติเมื่อการใช้ไนโตรเจนเหลวเพิ่มขึ้นหรือลดลง มีข้อได้เปรียบในการลดความผันผวนของความดันที่เกิดจากการป้อนไนโตรเจนเหลวจำนวนมากเมื่อเปิดวาล์วนิวแมติกทางเข้าและป้องกันแรงดันเกิน

4. ฟังก์ชั่นบัฟเฟอร์ ปริมาตรที่มีประสิทธิภาพภายในตัวแยกรับประกันการไหลสูงสุดของอุปกรณ์ทันที

5. ระบบล้าง: การไหลของอากาศและไอน้ำในตัวแยกก่อนผ่านไนโตรเจนเหลว และการปล่อยไนโตรเจนเหลวในตัวแยกหลังจากผ่านไนโตรเจนเหลว

6. ฟังก์ชั่นบรรเทาแรงดันเกินอัตโนมัติ: อุปกรณ์เมื่อเริ่มแรกผ่านไนโตรเจนเหลวหรือภายใต้สถานการณ์พิเศษ จะนำไปสู่การเพิ่มการเกิดก๊าซไนโตรเจนเหลว ซึ่งนำไปสู่แรงดันเกินทันทีของทั้งระบบ เครื่องแยกเฟสของเราติดตั้ง Safety Relief Valve และ Safety Relief Valve Group ซึ่งสามารถรับประกันความเสถียรของแรงดันในตัวแยกได้อย่างมีประสิทธิภาพยิ่งขึ้น และป้องกันไม่ให้อุปกรณ์ MBE ได้รับความเสียหายจากแรงดันที่มากเกินไป

7. กล่องควบคุมไฟฟ้า การแสดงระดับของเหลวและค่าความดันแบบเรียลไทม์ สามารถตั้งค่าระดับของเหลวในตัวแยกและไนโตรเจนเหลวเป็นปริมาณความสัมพันธ์ในการควบคุม ในเวลาเดียวกัน. ในกรณีฉุกเฉิน ให้เบรกตัวแยกก๊าซเหลวแบบแมนนวลเข้าไปในวาล์วควบคุมของเหลว เพื่อให้บุคลากรในสถานที่และอุปกรณ์มีความปลอดภัยในการรับประกัน

4

เครื่องไล่แก๊สแบบมัลติคอร์สำหรับแอปพลิเคชัน HASS

ถังเก็บไนโตรเจนเหลวกลางแจ้งประกอบด้วยไนโตรเจนจำนวนมากเนื่องจากถูกจัดเก็บและขนส่งภายใต้ความกดดัน ในระบบนี้ระยะทางในการขนส่งทางท่อจะยาวขึ้น มีข้อศอกมากขึ้น และมีความต้านทานมากขึ้น ซึ่งจะทำให้เกิดการแปรสภาพเป็นแก๊สของไนโตรเจนเหลวบางส่วน ท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศเป็นวิธีที่ดีที่สุดในการขนส่งไนโตรเจนเหลวในปัจจุบัน แต่ความร้อนรั่วไหลเป็นสิ่งที่หลีกเลี่ยงไม่ได้ ซึ่งจะนำไปสู่การแปรสภาพเป็นแก๊สบางส่วนของไนโตรเจนเหลวด้วย โดยสรุป ไนโตรเจนเหลวประกอบด้วยไนโตรเจนจำนวนมาก ทำให้เกิดความต้านทานต่อก๊าซ ส่งผลให้ไนโตรเจนเหลวไหลไม่ราบรื่น

อุปกรณ์ไอเสียบนท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศ หากไม่มีอุปกรณ์ไอเสียหรือมีปริมาณไอเสียไม่เพียงพอ จะทำให้เกิดความต้านทานต่อก๊าซ เมื่อเกิดความต้านทานต่อก๊าซ ความสามารถในการลำเลียงไนโตรเจนเหลวจะลดลงอย่างมาก

เครื่องไล่แก๊สแบบมัลติคอร์ที่ออกแบบโดยบริษัทของเราโดยเฉพาะสามารถรับประกันไนโตรเจนที่ปล่อยออกมาจากท่อไนโตรเจนเหลวหลักในระดับสูงสุด และป้องกันการก่อตัวของความต้านทานต่อก๊าซ และ Multi-core Degasser มีปริมาตรภายในเพียงพอ สามารถเล่นบทบาทของถังเก็บบัฟเฟอร์ สามารถตอบสนองความต้องการของไปป์ไลน์โซลูชันที่ไหลสูงสุดทันทีอย่างมีประสิทธิภาพ

โครงสร้างแบบมัลติคอร์ที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเฉพาะ ความจุไอเสียที่มีประสิทธิภาพมากกว่าเครื่องแยกประเภทอื่นๆ ของเรา

5
ต่อจากบทความที่แล้ว มีประเด็นบางอย่างที่ต้องพิจารณาเมื่อออกแบบโซลูชันสำหรับระบบท่อฉนวนสุญญากาศสำหรับการใช้งานแบบแช่แข็งในอุตสาหกรรมชิป

1

ระบบท่อฉนวนสุญญากาศสองประเภท

ระบบท่อฉนวนสุญญากาศมีสองประเภท: ระบบ VI แบบคงที่ และระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิก

ระบบ Static VI หมายความว่าหลังจากสร้างท่อแต่ละท่อในโรงงานแล้ว ท่อจะถูกดูดจนถึงระดับสุญญากาศที่ระบุบนชุดปั๊มและปิดผนึก ในการติดตั้งและใช้งานภาคสนาม ไม่จำเป็นต้องอพยพไปยังไซต์งานอีกในช่วงระยะเวลาหนึ่ง

ข้อดีของระบบ Static VI คือค่าบำรุงรักษาต่ำ เมื่อระบบท่อใช้งานได้แล้ว จำเป็นต้องมีการบำรุงรักษาในอีกหลายปีต่อมา ระบบสุญญากาศนี้เหมาะสำหรับระบบที่ไม่ต้องการการระบายความร้อนสูงและบริเวณเปิดสำหรับการบำรุงรักษานอกสถานที่

ข้อเสียของระบบ Static VI คือ สุญญากาศลดลงตามเวลา เนื่องจากวัสดุทุกชนิดจะปล่อยก๊าซติดตามอยู่ตลอดเวลา ซึ่งถูกกำหนดโดยคุณสมบัติทางกายภาพของวัสดุ วัสดุในปลอกหุ้มของท่อ VI สามารถลดปริมาณก๊าซที่ปล่อยออกมาจากกระบวนการได้ แต่ไม่สามารถแยกออกได้ทั้งหมด นี้จะนำไปสู่สุญญากาศของสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ปิดสนิท จะลดลง ท่อฉนวนสุญญากาศจะค่อยๆ ลดความสามารถในการทำความเย็น

Dynamic Vacuum Pumping System หมายถึง หลังจากสร้างและขึ้นรูปท่อแล้ว ท่อยังคงอพยพออกจากโรงงานตามกระบวนการตรวจจับรอยรั่ว แต่ไม่มีการปิดผนึกสูญญากาศก่อนส่งมอบ หลังจากการติดตั้งภาคสนามเสร็จสิ้นแล้ว ชั้นสุญญากาศของท่อทั้งหมดจะต้องเชื่อมต่อเป็นหนึ่งหน่วยขึ้นไปโดยใช้ท่อสแตนเลส และต้องใช้ปั๊มสุญญากาศขนาดเล็กเฉพาะเพื่อดูดฝุ่นท่อในสนาม ปั๊มสุญญากาศแบบพิเศษมีระบบอัตโนมัติตรวจสอบสุญญากาศได้ตลอดเวลาและสุญญากาศตามต้องการ ระบบทำงานตลอด 24 ชั่วโมง

ข้อเสียของระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกคือต้องบำรุงรักษาสุญญากาศด้วยไฟฟ้า

ข้อดีของระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกคือระดับสุญญากาศมีความเสถียรมาก มีการใช้เป็นพิเศษในสภาพแวดล้อมภายในอาคารและข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพสุญญากาศของโครงการที่สูงมาก

ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกของเรา ปั๊มสุญญากาศพิเศษแบบรวมมือถือทั้งหมดเพื่อให้แน่ใจว่าอุปกรณ์ในการดูดฝุ่น รูปแบบที่สะดวกและสมเหตุสมผลเพื่อให้มั่นใจถึงผลของสุญญากาศ คุณภาพของอุปกรณ์เสริมสุญญากาศเพื่อให้มั่นใจในคุณภาพของสุญญากาศ

สำหรับโครงการ MBE เนื่องจากอุปกรณ์อยู่ในห้องคลีนรูมและอุปกรณ์ทำงานเป็นเวลานาน ระบบท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศส่วนใหญ่อยู่ในพื้นที่ปิดบนชั้นระหว่างห้องคลีนรูม เป็นไปไม่ได้ที่จะดำเนินการบำรุงรักษาสุญญากาศของระบบท่อในอนาคต ซึ่งจะมีผลกระทบร้ายแรงต่อการทำงานของระบบในระยะยาว ด้วยเหตุนี้ โครงการ MBE จึงใช้ระบบปั๊มสุญญากาศแบบไดนามิกเกือบทั้งหมด

2

ระบบระบายความดัน

ระบบระบายแรงดันของสายหลักใช้กลุ่ม Safety Relief Valve กลุ่มวาล์วนิรภัยใช้เป็นระบบป้องกันความปลอดภัยเมื่อมีแรงดันเกิน ท่อ VI ไม่สามารถปรับได้ในการใช้งานปกติ

วาล์วระบายความปลอดภัยเป็นส่วนประกอบสำคัญเพื่อให้แน่ใจว่าระบบท่อจะไม่เกิดแรงดันเกิน การทำงานที่ปลอดภัย ดังนั้นจึงจำเป็นอย่างยิ่งในการทำงานของท่อ แต่วาล์วนิรภัยตามระเบียบต้องส่งตรวจทุกปี เมื่อใช้เซฟตี้วาล์วอันหนึ่งและอีกอันเตรียมไว้ เมื่อถอดเซฟตี้วาล์วอันหนึ่งออก เซฟตี้วาล์วอีกอันจะยังอยู่ในระบบท่อเพื่อให้แน่ใจว่าท่อทำงานได้ตามปกติ

กลุ่มวาล์วระบายความปลอดภัยประกอบด้วยวาล์วระบายความปลอดภัย DN15 สองตัว ตัวแรกสำหรับใช้งานและอีกตัวหนึ่งสำหรับสแตนด์บาย ในการทำงานปกติ วาล์วระบายความปลอดภัยเพียงตัวเดียวเท่านั้นที่เชื่อมต่อกับระบบท่อ VI และทำงานตามปกติ วาล์วระบายความปลอดภัยอื่นๆ จะถูกตัดการเชื่อมต่อจากท่อด้านในและสามารถเปลี่ยนได้ตลอดเวลา วาล์วนิรภัยทั้งสองเชื่อมต่อและตัดผ่านสถานะสวิตช์วาล์วด้านข้าง

กลุ่ม Safety Relief Valve Group มีเกจวัดแรงดันเพื่อตรวจสอบแรงดันของระบบท่อตลอดเวลา

กลุ่มวาล์วระบายความปลอดภัยมีวาล์วระบายให้มาด้วย สามารถใช้เพื่อระบายอากาศในท่อเมื่อทำการชะล้าง และไนโตรเจนสามารถระบายออกได้เมื่อระบบไนโตรเจนเหลวทำงาน

ดาว์น

อุปกรณ์ HL Cryogenic

HL Cryogenic Equipment ซึ่งก่อตั้งขึ้นในปี 1992 เป็นแบรนด์ในเครือของ Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company ในประเทศจีน อุปกรณ์ HL Cryogenic มุ่งมั่นที่จะออกแบบและผลิตระบบท่อไครโอเจนิกหุ้มฉนวนสุญญากาศสูงและอุปกรณ์สนับสนุนที่เกี่ยวข้อง

ในโลกที่เปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็วในปัจจุบัน การจัดหาเทคโนโลยีขั้นสูงไปพร้อมกับการประหยัดต้นทุนให้กับลูกค้าสูงสุดถือเป็นงานที่ท้าทาย เป็นเวลา 30 ปีแล้วที่ HL Cryogenic Equipment Company ในอุปกรณ์และอุตสาหกรรมไครโอเจนิกส์เกือบทั้งหมดมีความลึกซึ้งในการประยุกต์ใช้งาน ได้สั่งสมประสบการณ์มากมายและความน่าเชื่อถือ ตลอดจนสำรวจและมุ่งมั่นอย่างต่อเนื่องเพื่อให้ทันกับการพัฒนาล่าสุดในทุกสาขาอาชีพ โดยให้บริการลูกค้าด้วย โซลูชั่นใหม่ในทางปฏิบัติและมีประสิทธิภาพทำให้ลูกค้าของเราสามารถแข่งขันในตลาดได้มากขึ้น

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


เวลาโพสต์: 25 ส.ค.-2021

ฝากข้อความของคุณ